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微泰，傳輸閥 (I-MOTION),、I型轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工,，半導體加工,，可替代VAT閘閥。其特點是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 使用維修配件工具包易于維護? 應(yīng)用：半導體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離,，傳輸閥 (I-MOTION),、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥規(guī)格如下：閘門密封類型：傳輸閥 (I-MOTION),、右動轉(zhuǎn)換閥,、驅(qū)動方式：氣動、法蘭尺寸（內(nèi)徑） 32×222/46×236/50×336/56×500 ,、連接方式：焊接波紋管,、閘門密封 Viton O 形圈/硫化密封件、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、工作壓力范圍：1×10-10 mb...

微泰的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導體 PVD CVD 設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)，起著將工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的關(guān)鍵作用,，就像一條溝槽,。這些閥門能極大程度地減少閘板開閉時造成的真空壓力變化，使腔室內(nèi)的真空壓力得以穩(wěn)定維持,。負責門控半導體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥分為 I 型和 L 型兩種,。其產(chǎn)品范圍包括多種尺寸規(guī)格，如 32 x 222,、46 x 236,、50 x 336、56 x 500 等,。維護前使用周期可達 100 萬次,，響應(yīng)時間為 2 秒，并可根據(jù)客戶要求定制法蘭,。這些轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品有鋁制或不銹鋼制兩種,，用于傳輸晶圓小于 450 毫米的半導體系統(tǒng)和...

微泰半導體閘閥具有諸多特點：其閥門驅(qū)動部分的所有滾子和軸承都經(jīng)過精心防護處理，形成屏蔽和保護環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）,，通過三重預防方式有效切斷粉末（Powder）,，從而延長閥門驅(qū)動及使用壽命。該閘閥采用的三重預防驅(qū)動方式中的 Shield 功能,，能夠出色地防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部,，同時具備三重保護驅(qū)動保護環(huán)，可延長 GV 壽命的 Shield 方法,，并已供應(yīng)給海外半導體 T 公司,、M 公司和 I 公司的 Utility 設(shè)備。此外,，擋板與閥體之間的距離小于 1mm,，能夠強力阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入,，屏蔽擋板采用 1.5t AL 材料制成，充分考慮...

微泰半導體閘閥具有獨特的三重保護保護環(huán)機能：采用鋁質(zhì)材料,，減輕重量的同時提高保護環(huán)內(nèi)部粗糙度,，有效防止工程副產(chǎn)物的堆積黏附；通過提升保護環(huán)內(nèi)部流速設(shè)計,，且保護環(huán)逐步收窄,，進一步提升流速，防止粉塵黏附,；采用三元系 O 型圈,，確保保護環(huán)驅(qū)動穩(wěn)定，可保證 30 萬次驅(qū)動,。該閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）,、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）、Diffusion（擴散）,、CVD（化學...

微泰半導體閘閥具有諸多特點：首先,，它已向中國臺灣的 Micron、UMC,、AKT 等,，新加坡的 Micron、Global Foundries,，馬來西亞的英菲尼亞半導體,，日本的 Micron、三星半導體等眾多設(shè)備廠批量供貨,，且品質(zhì)得到認可,，同時完成了對半導體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證。其次,，該閘閥采用陶瓷球機構(gòu),，具有良好的抗沖擊和震動性能，保證可使用 25 萬次,，且檢修方便,，維護成本較低。它無 Particle 產(chǎn)生，采用陶瓷球不會有腐蝕和顆粒產(chǎn)生,。此外,，它還具有屏蔽保護功能，閘閥閥體與擋板之間的距離小于 1mm,，能有效防止粉末侵入閥內(nèi),，壽命為半永久性。其保護環(huán)設(shè)計也很獨特,，P...

微泰半導體閘閥的特點：已向中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron,、三星半導體和其它的設(shè)備，設(shè)備廠批量供貨,，已得到品質(zhì)認可,，已完成對半導體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證。1,，采用陶瓷球機構(gòu),，抗沖擊和震動，保證使用25萬次,，檢修方便,，較低維護成本。2,，無Particle（顆粒）產(chǎn)生,，采用陶瓷球無腐蝕和顆粒產(chǎn)。3,，屏蔽保護：屏蔽式保護功能,，閘閥閥體與擋板之間的距離小于1mm，可防止粉末侵入閥內(nèi),，壽命為半永久性,。4，保護環(huán)：Protecrion Ring通過流速上升設(shè)計防止粉末凝固,，并通過打磨（研磨...

微泰,，定制大型轉(zhuǎn)移閥，定制大型輸送閥,，?應(yīng)用：大型涂層系統(tǒng),。定制大型轉(zhuǎn)移閥，定制大型輸送閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動、法蘭尺寸：（內(nèi)徑）80×500,、（內(nèi)徑）100×400,、（內(nèi)徑）200×1800、（內(nèi)徑）650×1050等法蘭類型：定制,、饋通焊接波紋管/O形密封圈,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1400 mbar 、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門上的壓差≤1000 mbar,、泄漏率：泄漏率< 5×10 -9 Mbar/秒、維護前可用次數(shù)：10,000 ~ 200,...

微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，插板閥,，氣動（鎖定）閘閥和手動（鎖定）閘閥-按產(chǎn)品尺寸和法蘭類型排列-ID為1.5英寸至30英寸，ISO,、CF&JIS和ASA法蘭等-現(xiàn)有手動閘閥的鎖定功能（Exist Manual GV of Locking Function）,。微泰氣動（鎖定）閘閥和手動（鎖定）閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕...

微泰,，大閘閥,、大型閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。微泰大閘閥,、大型閘閥其特點是*陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:用于研發(fā)和工業(yè)的隔離閥,。大閘閥、大型閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸（內(nèi)徑）：16? ~ 30?,、 法蘭型：...

微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，控制系統(tǒng)閘閥,，控制閘閥,、控制系統(tǒng)插板閥、控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制。如半導體等高真空工藝應(yīng)用,?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力。微泰半導體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴散）...

微泰半導體閘閥的特點：閥門驅(qū)動部分的所有滾子和軸承都進行了防護處理，形成屏蔽和保護環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）用三重預防方式切斷粉末（Powder）,，延長閥門驅(qū)動和使用壽命,。三重預防驅(qū)動方式的Shield功能可防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部，有三重保護驅(qū)動保護環(huán),，長久延長GV壽命的Shield方法-供應(yīng)給海外半導體T公司,、M公司和I公司Utility設(shè)備,。擋板與閥體的距離小于1mm,，阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入，屏蔽擋板是采用1.5 t AL材料,，考慮了復原力,，并采用Viton粉末熱壓制成。三重保護保護環(huán)的主要功能說明-AL材料的重量減輕和保護環(huán)內(nèi)部照明的改善...

微泰主要產(chǎn)品有1,、-手動鎖定閥：操作鎖定按鈕關(guān)閉正在抽吸中的切斷閥門切斷現(xiàn)象的源頭：2,、特殊閥門：全金屬配件構(gòu)成，由電磁閥+傳感器+D-Sub+角閥組成,；3,、三位閥：半開功能的壓力控制閥。氣動閘閥：?產(chǎn)品范圍：1.5~30英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒,；手動（鎖定）閘閥?產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次,；專門用閘閥：產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次，響應(yīng)時間：0.2秒客戶指定的法蘭,，可安裝角閥,；三位閘閥：產(chǎn)品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：2...

微泰半導體閘閥的特點：閥門驅(qū)動部分的所有滾子和軸承都進行了防護處理，形成屏蔽和保護環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）用三重預防方式切斷粉末（Powder）,，延長閥門驅(qū)動和使用壽命,。三重預防驅(qū)動方式的Shield功能可防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部，有三重保護驅(qū)動保護環(huán),，長久延長GV壽命的Shield方法-供應(yīng)給海外半導體T公司,、M公司和I公司Utility設(shè)備。擋板與閥體的距離小于1mm，阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入,，屏蔽擋板是采用1.5 t AL材料,，考慮了復原力，并采用Viton粉末熱壓制成,。三重保護保護環(huán)的主要功能說明-AL材料的重量減輕和保護環(huán)內(nèi)部照明的改善...

微泰,，傳輸閥 (L-MOTION)、L型轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工，半導體加工,，可替代VAT閘閥,。其特點是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 使用維修配件工具包易于維護? 應(yīng)用：半導體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離，傳輸閥 (L-MOTION),、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥規(guī)格如下：閘門密封類型：傳輸閥 (L-MOTION)、左動轉(zhuǎn)換閥,、驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸（內(nèi)徑） 32×222/46×236/50×336/56×500 、連接方式：焊接波紋管,、閘門密封 Viton O 形圈/硫化密封件,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、工作壓力范圍：1×10-10 ...

微泰,傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它充當將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。I型和L型轉(zhuǎn)移閥是用于半導體PVD CVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它們的作用是將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,，并極大限度地減少由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化，以維持腔室內(nèi)的真空壓力,。I型轉(zhuǎn)移閥由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導體系統(tǒng)和隔離工藝室。其特點是葉片在垂直方向上快速移動,，以確保完美的腔室壓力維持,。而L型轉(zhuǎn)移閥也由鋁或不銹鋼制造，其特點是設(shè)計緊湊,，易于維護,。L型轉(zhuǎn)移閥的閘門在兩個階段從垂直到水平方向移...

微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，三重防護閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,。有-屏蔽閘閥：防止氣體和粉末進入閥內(nèi)的隔離閥,，-三重防護閘閥：屏蔽1和2+保護環(huán)的3重隔離系統(tǒng)，還有步進電機閘閥和鋁閘閥,，屏蔽門閥：產(chǎn)品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用...

微泰,，定制大型轉(zhuǎn)移閥，定制大型輸送閥,，?應(yīng)用：大型涂層系統(tǒng),。定制大型轉(zhuǎn)移閥，定制大型輸送閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸：（內(nèi)徑）80×500,、（內(nèi)徑）100×400、（內(nèi)徑）200×1800,、（內(nèi)徑）650×1050等法蘭類型：定制,、饋通焊接波紋管/O形密封圈、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1400 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門上的壓差≤1000 mbar,、泄漏率：泄漏率< 5×10 -9 Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：10,000 ~ 200,...

微泰，定制大型轉(zhuǎn)移閥,，定制大型輸送閥,，?應(yīng)用：大型涂層系統(tǒng)。定制大型轉(zhuǎn)移閥,，定制大型輸送閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸：（內(nèi)徑）80×500、（內(nèi)徑）100×400,、（內(nèi)徑）200×1800,、（內(nèi)徑）650×1050等法蘭類型：定制、饋通焊接波紋管/O形密封圈,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1400 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門上的壓差≤1000 mbar、泄漏率：泄漏率< 5×10 -9 Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：10,000 ~ 200,...

微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，有氣動多位置閘閥（氣動多定位閘閥、多定位插板閥,、Pneumatic Multi Position）,、氣動（鎖定）閘閥和手動（鎖定）閘閥，蝶閥,，Butterfly Valve,，步進電機插板閥Stepper Motor Gate Valve，加熱插板閥（加熱閘閥Heating gate valve）,，鋁閘閥（AL Gate Valve）,，三重防護閘閥，應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Ro...

微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，步進電機插板閥Stepper Motor Gate Valve,，-產(chǎn)品范圍：2.5“~10”-壓力控制-使用步進電機Stepper Motor GV,- Product Range : 2.5” ~ 10”- Pressure Controlled- Using Stepper Motor，用步進電機/控制器操作閥門-通過步進電機/控制器精確控制閥門的壓力-根據(jù)產(chǎn)品的不同,，控制器可以安裝在客戶需要的地方,，微泰，步進電機插板閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD...

微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，這里介紹一下閥門控制器-主控制器（Valve Controller Introduction）1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸-本地控制器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸 -遙控器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸,。1，開放/關(guān)閉速度LCD顯示,；2,，當閥門或泵錯誤時，燈點亮：3,，自動關(guān)閉功能-防止泵跳閘中的逆流,；4，有閥門開關(guān)位置的信號輸出信號,；5,，鎖定功能-本地/遙控器在解鎖后進行快速操作；6,，無噪音,，功耗低；7,，歷史管理-打開/關(guān)閉/泵關(guān)閉等,；8，UPS功能（1秒）,，微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，有中國臺灣Micron,、UMC、...

微泰,，高壓閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。其特點是*陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:隔離泵,。高壓閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動或氣動、法蘭尺寸：1.5英寸~ 14英寸,、法蘭類型：CF,、連接方式：焊接波紋管、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時...

微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，這里介紹一下閥門控制器-主控制器（Valve Controller Introduction）1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸-本地控制器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸 -遙控器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸,。1,，開放/關(guān)閉速度LCD顯示；2,，當閥門或泵錯誤時,，燈點亮：3，自動關(guān)閉功能-防止泵跳閘中的逆流,；4,，有閥門開關(guān)位置的信號輸出信號；5,，鎖定功能-本地/遙控器在解鎖后進行快速操作,；6，無噪音,，功耗低,；7,，歷史管理-打開/關(guān)閉/泵關(guān)閉等,；8，UPS功能（1秒）,，微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，有中國臺灣Micron、UMC,、...

微泰,，三(多)位閘閥、三位閘閥,、多位閘閥應(yīng)用于? 蒸發(fā)?濺射? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? 涂層? 蝕刻? 擴散?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。其特點是*3個位置功能-閥門打開,閥門關(guān)閉,第3位置*設(shè)備可通過連接到閥門的9 Pin D-Sub來讀取閥門狀態(tài)*手動和氣動閥門組合*應(yīng)用:需要壓力控制的任何其他過程*應(yīng)用:需要壓力控制的地方,。三位閘閥,、多位閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動、法蘭尺寸：2.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型ISO, JIS, ASA, CF,、連接方式：焊接波紋管、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/E...

微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上。這節(jié)介紹加熱閘閥,、加熱式閘閥護套,、加熱器插入式閥門。帶加熱器閘閥,，加熱器插入閘閥：產(chǎn)品范圍：2~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：20萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒,；客戶指定法蘭，加熱溫度：...

微泰半導體閘閥與其他類型閘閥相比,，具有以下一些優(yōu)勢：1. 高精度控制：能更精確地調(diào)節(jié)流體流量,。2. 適應(yīng)半導體環(huán)境：對溫度、真空等條件有更好的適應(yīng)性,。3. 低顆粒產(chǎn)生：減少對晶圓等的污染,。4. 長壽命和可靠性：確保穩(wěn)定運行，減少維護成本,。5. 多功能應(yīng)用：可適用于多種半導體工藝設(shè)備,。微泰半導體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusi...

微泰,，傳輸閥 (I-MOTION)、I型轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工，半導體加工,，可替代VAT閘閥,。其特點是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 使用維修配件工具包易于維護? 應(yīng)用：半導體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離,，傳輸閥 (I-MOTION)、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥規(guī)格如下：閘門密封類型：傳輸閥 (I-MOTION),、右動轉(zhuǎn)換閥、驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸（內(nèi)徑） 32×222/46×236/50×336/56×500 ,、連接方式：焊接波紋管、閘門密封 Viton O 形圈/硫化密封件,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec、工作壓力范圍：1×10-10 mb...

微泰半導體閘閥的特點：閥門驅(qū)動部分的所有滾子和軸承都進行了防護處理,，形成屏蔽和保護環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）用三重預防方式切斷粉末（Powder）,，延長閥門驅(qū)動和使用壽命。三重預防驅(qū)動方式的Shield功能可防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部,，有三重保護驅(qū)動保護環(huán),，長久延長GV壽命的Shield方法-供應(yīng)給海外半導體T公司、M公司和I公司Utility設(shè)備,。擋板與閥體的距離小于1mm,，阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入，屏蔽擋板是采用1.5 t AL材料,，考慮了復原力,，并采用Viton粉末熱壓制成。三重保護保護環(huán)的主要功能說明-AL材料的重量減輕和保護環(huán)內(nèi)部照明的改善...

微泰,，定制大型轉(zhuǎn)移閥，定制大型輸送閥,，?應(yīng)用：大型涂層系統(tǒng),。定制大型轉(zhuǎn)移閥，定制大型輸送閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸：（內(nèi)徑）80×500,、（內(nèi)徑）100×400、（內(nèi)徑）200×1800,、（內(nèi)徑）650×1050等法蘭類型：定制,、饋通焊接波紋管/O形密封圈、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1400 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門上的壓差≤1000 mbar、泄漏率：泄漏率< 5×10 -9 Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：10,000 ~ 200,...

微泰半導體閘閥的工作原理主要是通過閘板的升降來控制流體的通斷,。當閘板升起時，閘閥打開,，允許流體通過,；當閘板降下時，閘閥關(guān)閉,，阻止流體通過,。在具體工作中，它利用各種機構(gòu)和設(shè)計來實現(xiàn)精確的控制和可靠的密封,，以滿足半導體設(shè)備中對工藝控制的要求,。微泰半導體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴散）,、CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上，...