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微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點(diǎn)：首先,，它已向中國臺(tái)灣的 Micron、UMC,、AKT 等,，新加坡的 Micron,、Global Foundries,，馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體，日本的 Micron,、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨,，且品質(zhì)得到認(rèn)可,，同時(shí)完成了對半導(dǎo)體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證。其次,，該閘閥采用陶瓷球機(jī)構(gòu),，具有良好的抗沖擊和震動(dòng)性能，保證可使用 25 萬次,，且檢修方便,，維護(hù)成本較低。它無 Particle 產(chǎn)生,，采用陶瓷球不會(huì)有腐蝕和顆粒產(chǎn)生,。此外，它還具有屏蔽保護(hù)功能,，閘閥閥體與擋板之間的距離小于 1mm,，能有效防止粉末侵入閥內(nèi),，壽命為半永久性。其保護(hù)環(huán)設(shè)計(jì)也很獨(dú)特,，P...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，有氣動(dòng)多位置閘閥（氣動(dòng)多定位閘閥、多定位插板閥,、Pneumatic Multi Position）,、氣動(dòng)（鎖定）閘閥和手動(dòng)（鎖定）閘閥，蝶閥,，Butterfly Valve,，步進(jìn)電機(jī)插板閥Stepper Motor Gate Valve，加熱插板閥（加熱閘閥Heating gate valve）,，鋁閘閥（AL Gate Valve），三重防護(hù)閘閥,，應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Ro...

微泰半導(dǎo)體閘閥與其他類型閘閥相比,，具有以下一些優(yōu)勢：1. 高精度控制：能更精確地調(diào)節(jié)流體流量。2. 適應(yīng)半導(dǎo)體環(huán)境：對溫度,、真空等條件有更好的適應(yīng)性,。3. 低顆粒產(chǎn)生：減少對晶圓等的污染。4. 長壽命和可靠性：確保穩(wěn)定運(yùn)行,，減少維護(hù)成本,。5. 多功能應(yīng)用：可適用于多種半導(dǎo)體工藝設(shè)備。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）,、Diffusi...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，插板閥,，氣動(dòng)（鎖定）閘閥和手動(dòng)（鎖定）閘閥-按產(chǎn)品尺寸和法蘭類型排列-ID為1.5英寸至30英寸,，ISO、CF&JIS和ASA法蘭等-現(xiàn)有手動(dòng)閘閥的鎖定功能（Exist Manual GV of Locking Function）,。微泰氣動(dòng)（鎖定）閘閥和手動(dòng)（鎖定）閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕...

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn)：閥門驅(qū)動(dòng)部分的所有滾子和軸承都進(jìn)行了防護(hù)處理，形成屏蔽和保護(hù)環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）用三重預(yù)防方式切斷粉末（Powder）,，延長閥門驅(qū)動(dòng)和使用壽命,。三重預(yù)防驅(qū)動(dòng)方式的Shield功能可防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部,，有三重保護(hù)驅(qū)動(dòng)保護(hù)環(huán)，長久延長GV壽命的Shield方法-供應(yīng)給海外半導(dǎo)體T公司,、M公司和I公司Utility設(shè)備,。擋板與閥體的距離小于1mm，阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入,，屏蔽擋板是采用1.5 t AL材料,，考慮了復(fù)原力，并采用Viton粉末熱壓制成,。三重保護(hù)保護(hù)環(huán)的主要功能說明-AL材料的重量減輕和保護(hù)環(huán)內(nèi)部照明的改善...

微泰半導(dǎo)體閘閥的工作原理主要是通過閘板的升降來控制流體的通斷,。當(dāng)閘板升起時(shí)，閘閥打開,，允許流體通過,；當(dāng)閘板降下時(shí)，閘閥關(guān)閉,，阻止流體通過,。在具體工作中，它利用各種機(jī)構(gòu)和設(shè)計(jì)來實(shí)現(xiàn)精確的控制和可靠的密封,，以滿足半導(dǎo)體設(shè)備中對工藝控制的要求,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴(kuò)散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上，...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，三重防護(hù)閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。有-屏蔽閘閥：防止氣體和粉末進(jìn)入閥內(nèi)的隔離閥,，-三重防護(hù)閘閥：屏蔽1和2+保護(hù)環(huán)的3重隔離系統(tǒng),，還有步進(jìn)電機(jī)閘閥和鋁閘閥，屏蔽門閥：產(chǎn)品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用...

微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點(diǎn)：首先,，它已向中國臺(tái)灣的 Micron,、UMC、AKT 等,，新加坡的 Micron,、Global Foundries,，馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體，日本的 Micron,、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨,，且品質(zhì)得到認(rèn)可，同時(shí)完成了對半導(dǎo)體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證,。其次,，該閘閥采用陶瓷球機(jī)構(gòu)，具有良好的抗沖擊和震動(dòng)性能,，保證可使用 25 萬次,，且檢修方便，維護(hù)成本較低,。它無 Particle 產(chǎn)生,，采用陶瓷球不會(huì)有腐蝕和顆粒產(chǎn)生。此外,，它還具有屏蔽保護(hù)功能,，閘閥閥體與擋板之間的距離小于 1mm，能有效防止粉末侵入閥內(nèi),，壽命為半永久性。其保護(hù)環(huán)設(shè)計(jì)也很獨(dú)特,，P...

微泰,，專門用閘閥應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating? Etch? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥,。期特點(diǎn)是*使用維修配件工具包易于維護(hù)*將電磁閥和位置傳感器連接到15針D-Sub*鎖定功能*限位開關(guān)*?速度控制器&電磁閥（2Port+N2Port）用不銹鋼管連接（φ6）*應(yīng)用:泵隔離,產(chǎn)品工藝水平要求高的地方。專門用閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng),、法蘭尺寸：4英寸~ 8英寸,、法蘭類型：ISO, JIS, ASA, CF、連接方式：焊接波紋管,、閥門...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，插板閥，氣動(dòng)（鎖定）閘閥和手動(dòng)（鎖定）閘閥-按產(chǎn)品尺寸和法蘭類型排列-ID為1.5英寸至30英寸,，ISO,、CF&JIS和ASA法蘭等-現(xiàn)有手動(dòng)閘閥的鎖定功能（Exist Manual GV of Locking Function）。微泰氣動(dòng)（鎖定）閘閥和手動(dòng)（鎖定）閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕...

微泰控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門,。控制系統(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,，通過控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)閘板的開啟和關(guān)閉,。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥,、蝶閥、多定位閘閥,?？刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作，而多定位閘閥使用氣動(dòng)控制操作,。一,、控制系統(tǒng)閘閥?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動(dòng)方式操作，可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,。控制系統(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值,，通過控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。二、蝶閥,。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計(jì)和堅(jiān)固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過閘板旋轉(zhuǎn)操作。蝶閥可以實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程,。蝶閥通過控...

微泰的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體 PVD CVD 設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)，起著將工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的關(guān)鍵作用,，就像一條溝槽,。這些閥門能極大程度地減少閘板開閉時(shí)造成的真空壓力變化，使腔室內(nèi)的真空壓力得以穩(wěn)定維持,。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥分為 I 型和 L 型兩種,。其產(chǎn)品范圍包括多種尺寸規(guī)格，如 32 x 222,、46 x 236,、50 x 336、56 x 500 等,。維護(hù)前使用周期可達(dá) 100 萬次,，響應(yīng)時(shí)間為 2 秒,，并可根據(jù)客戶要求定制法蘭。這些轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品有鋁制或不銹鋼制兩種,，用于傳輸晶圓小于 450 毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和...

微泰半導(dǎo)體閘閥的工作原理主要是通過閘板的升降來控制流體的通斷,。當(dāng)閘板升起時(shí)，閘閥打開,，允許流體通過,；當(dāng)閘板降下時(shí)，閘閥關(guān)閉,，阻止流體通過,。在具體工作中，它利用各種機(jī)構(gòu)和設(shè)計(jì)來實(shí)現(xiàn)精確的控制和可靠的密封,，以滿足半導(dǎo)體設(shè)備中對工藝控制的要求,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴(kuò)散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上，...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，晶圓輸送閥Transfer Valve，傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。采用L型輸送閥L-motion防止產(chǎn)生微粒（Particle),，無需從設(shè)備上拆卸閥門，即可更換閘門和O形圈,。大量采用缸套運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌Liner (motion guide),，實(shí)現(xiàn)高精度、高耐用性.微泰晶圓輸送閥L型輸送閥L-motion,Transfer Valve,，傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥Butterfly Valve有中國臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西...

微泰,，傳輸閥 (I-MOTION)、I型轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工，半導(dǎo)體加工,，可替代VAT閘閥,。其特點(diǎn)是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計(jì)? 使用維修配件工具包易于維護(hù)? 應(yīng)用：半導(dǎo)體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離，傳輸閥 (I-MOTION),、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥規(guī)格如下：閘門密封類型：傳輸閥 (I-MOTION)、右動(dòng)轉(zhuǎn)換閥,、驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng),、法蘭尺寸（內(nèi)徑） 32×222/46×236/50×336/56×500 、連接方式：焊接波紋管,、閘門密封 Viton O 形圈/硫化密封件,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec,、工作壓力范圍：1×10-10 mb...

微泰半導(dǎo)體閘閥的工作原理主要是通過閘板的升降來控制流體的通斷,。當(dāng)閘板升起時(shí)，閘閥打開,，允許流體通過,；當(dāng)閘板降下時(shí)，閘閥關(guān)閉,，阻止流體通過,。在具體工作中，它利用各種機(jī)構(gòu)和設(shè)計(jì)來實(shí)現(xiàn)精確的控制和可靠的密封,，以滿足半導(dǎo)體設(shè)備中對工藝控制的要求,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）、Diffusion（擴(kuò)散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,，...

微泰,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,。I型和L型轉(zhuǎn)移閥是用于半導(dǎo)體PVD CVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它們的作用是將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽，并極大限度地減少由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化,，以維持腔室內(nèi)的真空壓力,。I型轉(zhuǎn)移閥由鋁或不銹鋼制成，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室,。其特點(diǎn)是葉片在垂直方向上快速移動(dòng),，以確保完美的腔室壓力維持。而L型轉(zhuǎn)移閥也由鋁或不銹鋼制造,，其特點(diǎn)是設(shè)計(jì)緊湊,，易于維護(hù)。L型轉(zhuǎn)移閥的閘門在兩個(gè)階段從垂直到水平方向移...

微泰高壓閘閥可以應(yīng)用于多種設(shè)備,，如蒸發(fā),、濺射、金剛石生長,、PECV,、PVD集群、卷對卷,、涂層,、蝕刻、擴(kuò)散和CVD等,。它具有陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒和易于維護(hù)等特點(diǎn),，可替代VAT閘閥。該閥門的規(guī)格包括手動(dòng)或氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式,、1.5英寸至14英寸的法蘭尺寸,、CF法蘭類型,、焊接波紋管連接方式,、氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM閥門密封、氟橡膠O型圈閥蓋密封,、≤2秒響應(yīng)時(shí)間,、1.5?至6?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1400 mbar，8?至14?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1200 mbar、≤30 mbar的開始時(shí)壓差,、≤1400 mbar的6?以下閘門差動(dòng)壓力和≤...

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn)：插板閥主滑閥的球機(jī)構(gòu)方式-在量產(chǎn)工藝設(shè)備上的性能驗(yàn)證-由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成,，陶瓷和金屬觸摸驅(qū)動(dòng)無顆粒-已向中國臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備，設(shè)備廠批量供貨,，已得到品質(zhì)認(rèn)可,，已完成對半導(dǎo)體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證，而其他廠家閘閥金屬和金屬觸摸驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生大量顆粒,。使用鋼陶瓷球,，與金屬摩擦?xí)r不會(huì)損壞，金屬與陶瓷球之間不會(huì)產(chǎn)生Particle,，半永久板簧（SUS鋼板）的應(yīng)用確保閥門驅(qū)動(dòng)同步性,，采用了固定球?qū)蚱骱弯撎沾伞Ｎ⑻┌雽?dǎo)體閘閥應(yīng)...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，氣動(dòng)多位置閘閥,，氣動(dòng)多定位閘閥，多定位插板閥,，Pneumatic Multi Position 其特點(diǎn)是1,，全開和關(guān)閉位置使用帶有位置發(fā)射器的氣動(dòng)電磁閥進(jìn)行控制；2,，所有位置控制都由控制器進(jìn)行操作,。1)控制類型-全開：高速閘門全開操作-全閉：高速閘門全閉操作-位置（POS.）控制：將閘門移動(dòng)到設(shè)定的位置值；2)操作時(shí)間-完全打開?完全關(guān)閉：<2秒（取決于速度控制器設(shè)置)-位置（POS,。）控制： 0%?100%工作,，

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。采用L型輸送閥L-motion防止產(chǎn)生微粒（Particle)，無需從設(shè)備上拆卸閥門,，即可更換閘門和O形圈,。大量采用缸套運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌Liner (motion guide)，實(shí)現(xiàn)高精度,、高耐用性.微泰晶圓輸送閥L型輸送閥L-motion,Transfer Valve,，傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥Butterfly Valve有中國臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西...

微泰,傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,。此外，它極大限度地減少了由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化,，使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持,。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型? Product Range : 32 x 222 / 46 x 236 ，50 x 336 / 56 x 500 ,，? Cycles of first service : 1,000,000 ? Response Time : 2sec ? Customer Specified F...

微泰,，傳輸閥 (L-MOTION)、L型轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工，半導(dǎo)體加工,，可替代VAT閘閥,。其特點(diǎn)是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計(jì)? 使用維修配件工具包易于維護(hù)? 應(yīng)用：半導(dǎo)體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離，傳輸閥 (L-MOTION),、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥規(guī)格如下：閘門密封類型：傳輸閥 (L-MOTION)、左動(dòng)轉(zhuǎn)換閥,、驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng),、法蘭尺寸（內(nèi)徑） 32×222/46×236/50×336/56×500 、連接方式：焊接波紋管,、閘門密封 Viton O 形圈/硫化密封件,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec,、工作壓力范圍：1×10-10 ...

微泰半導(dǎo)體閘閥具有獨(dú)特的特點(diǎn)：其插板閥主滑閥采用球機(jī)構(gòu)方式,，并且在量產(chǎn)工藝設(shè)備上經(jīng)過了性能驗(yàn)證。該閘閥由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成,，陶瓷與金屬接觸驅(qū)動(dòng)時(shí)不會(huì)產(chǎn)生顆粒,。目前已向中國臺(tái)灣的 Micron、UMC,、AKT,，新加坡的 Micron、Global Foundries,，馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,，日本的 Micron、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨,，且品質(zhì)得到認(rèn)可,，同時(shí)也完成了對半導(dǎo)體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證。與其他廠家閘閥的金屬與金屬接觸驅(qū)動(dòng)會(huì)產(chǎn)生大量顆粒不同,，微泰半導(dǎo)體閘閥采用鋼陶瓷球,，在與金屬摩擦?xí)r不會(huì)損壞，且金屬與陶瓷球之間不會(huì)產(chǎn)生 Particle,。半永久板簧（S...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，多定位閘閥。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮?dú)饪刂崎l閥位置的閥門,。它在閥門的頂部有一個(gè)內(nèi)置控制器,，可以在本地和遠(yuǎn)程模式下操作。它還具有緊急關(guān)閉功能,，以應(yīng)對泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況,。其特點(diǎn)之一是能夠遠(yuǎn)程檢查閥門狀態(tài)，并可用于具有不同法蘭類型的各種工藝,。多定位閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動(dòng)方式操作，適用于需要壓力控制的所有加工領(lǐng)域,。采用手動(dòng)調(diào)節(jié)控制裝置控制,，用戶可直接控制閘門的開啟和關(guān)閉，以調(diào)節(jié)壓力,。微泰半導(dǎo)體多定位閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，控制系統(tǒng)閘閥,，控制閘閥,、控制系統(tǒng)插板閥、控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動(dòng)方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值，通過控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）,、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）、Diffusion（擴(kuò)散）...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，三重防護(hù)閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。有-屏蔽閘閥：防止氣體和粉末進(jìn)入閥內(nèi)的隔離閥,，-三重防護(hù)閘閥：屏蔽1和2+保護(hù)環(huán)的3重隔離系統(tǒng),，還有步進(jìn)電機(jī)閘閥和鋁閘閥，屏蔽門閥：產(chǎn)品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用...

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn),，首先介紹一下起三重保護(hù)的保護(hù)環(huán)機(jī)能,，采用鋁質(zhì)材料減少重量，并提高保護(hù)環(huán)的內(nèi)部粗糙度,，防止工程副產(chǎn)物堆積黏附,。提升保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速設(shè)計(jì)，保護(hù)環(huán)逐步收窄,，提升流速,，防止粉塵黏附。采用三元系O型圈,，保證保護(hù)環(huán)驅(qū)動(dòng)穩(wěn)定（保證30萬次驅(qū)動(dòng)）,。微泰半導(dǎo)體閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，插板閥,，氣動(dòng)（鎖定）閘閥和手動(dòng)（鎖定）閘閥-按產(chǎn)品尺寸和法蘭類型排列-ID為1.5英寸至30英寸,，ISO、CF&JIS和ASA法蘭等-現(xiàn)有手動(dòng)閘閥的鎖定功能（Exist Manual GV of Locking Function）,。微泰氣動(dòng)（鎖定）閘閥和手動(dòng)（鎖定）閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕...

微泰控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門?？刂葡到y(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用，通過控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)閘板的開啟和關(guān)閉,。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥,、蝶閥、多定位閘閥,?？刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作，而多定位閘閥使用氣動(dòng)控制操作,。一,、控制系統(tǒng)閘閥?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動(dòng)方式操作，可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,。控制系統(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值,，通過控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。二、蝶閥,。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計(jì)和堅(jiān)固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過閘板旋轉(zhuǎn)操作。蝶閥可以實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程,。蝶閥通過控...