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微泰半導(dǎo)體閘閥具有獨(dú)特的三重保護(hù)保護(hù)環(huán)機(jī)能：采用鋁質(zhì)材料,，減輕重量的同時(shí)提高保護(hù)環(huán)內(nèi)部粗糙度，有效防止工程副產(chǎn)物的堆積黏附,；通過(guò)提升保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速設(shè)計(jì),，且保護(hù)環(huán)逐步收窄，進(jìn)一步提升流速,，防止粉塵黏附,；采用三元系 O 型圈，確保保護(hù)環(huán)驅(qū)動(dòng)穩(wěn)定,，可保證 30 萬(wàn)次驅(qū)動(dòng),。該閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò) MW-PACVD 生長(zhǎng)金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴(kuò)散）,、CVD（化學(xué)...

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn)：插板閥主滑閥的球機(jī)構(gòu)方式-在量產(chǎn)工藝設(shè)備上的性能驗(yàn)證-由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成，陶瓷和金屬觸摸驅(qū)動(dòng)無(wú)顆粒-已向中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備，設(shè)備廠批量供貨,，已得到品質(zhì)認(rèn)可,，已完成對(duì)半導(dǎo)體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證，而其他廠家閘閥金屬和金屬觸摸驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生大量顆粒,。使用鋼陶瓷球,，與金屬摩擦?xí)r不會(huì)損壞，金屬與陶瓷球之間不會(huì)產(chǎn)生Particle,，半永久板簧（SUS鋼板）的應(yīng)用確保閥門驅(qū)動(dòng)同步性,，采用了固定球?qū)蚱骱弯撎沾?。微泰半?dǎo)體閘閥應(yīng)...

微泰,，超高壓閘閥應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? 蝕刻? Diffusion?CVD等設(shè)備上,。期特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:研發(fā)和工業(yè)中的UHV隔離,。高壓閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)或氣動(dòng)、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型：CF,、連接方式：焊接波紋管（AM350或STS316L）、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez ...

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn),，首先介紹一下起三重保護(hù)的保護(hù)環(huán)機(jī)能,，采用鋁質(zhì)材料減少重量，并提高保護(hù)環(huán)的內(nèi)部粗糙度,，防止工程副產(chǎn)物堆積黏附,。提升保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速設(shè)計(jì)，保護(hù)環(huán)逐步收窄,，提升流速,，防止粉塵黏附。采用三元系O型圈,，保證保護(hù)環(huán)驅(qū)動(dòng)穩(wěn)定（保證30萬(wàn)次驅(qū)動(dòng)）,。微泰半導(dǎo)體閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。這節(jié)介紹加熱閘閥,、加熱式閘閥護(hù)套,、加熱器插入式閥門。帶加熱器閘閥,，加熱器插入閘閥：產(chǎn)品范圍：2~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：20萬(wàn)次?響應(yīng)時(shí)間：0.2秒~3秒,；客戶指定法蘭,，加熱溫度：...

微泰，傳輸閥 (L-MOTION),、L型轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工,，半導(dǎo)體加工,，可替代VAT閘閥。其特點(diǎn)是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計(jì)? 使用維修配件工具包易于維護(hù)? 應(yīng)用：半導(dǎo)體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離,，傳輸閥 (L-MOTION),、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥規(guī)格如下：閘門密封類型：傳輸閥 (L-MOTION),、左動(dòng)轉(zhuǎn)換閥,、驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)、法蘭尺寸（內(nèi)徑） 32×222/46×236/50×336/56×500 ,、連接方式：焊接波紋管,、閘門密封 Viton O 形圈/硫化密封件、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec,、工作壓力范圍：1×10-10 ...

微泰的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體 PVD CVD 設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)，起著將工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的關(guān)鍵作用,，就像一條溝槽,。這些閥門能極大程度地減少閘板開(kāi)閉時(shí)造成的真空壓力變化，使腔室內(nèi)的真空壓力得以穩(wěn)定維持,。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥分為 I 型和 L 型兩種,。其產(chǎn)品范圍包括多種尺寸規(guī)格，如 32 x 222,、46 x 236,、50 x 336、56 x 500 等,。維護(hù)前使用周期可達(dá) 100 萬(wàn)次,，響應(yīng)時(shí)間為 2 秒，并可根據(jù)客戶要求定制法蘭。這些轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品有鋁制或不銹鋼制兩種,，用于傳輸晶圓小于 450 毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和...

半導(dǎo)體真空插板閥是一種用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的真空系統(tǒng)的閥門,，主要作用是控制氣體的流動(dòng)，以維持真空環(huán)境的穩(wěn)定,。微泰半導(dǎo)體真空腔體用閘閥（插板閥）其特點(diǎn)包括：1. 高密封性：采用特殊的密封結(jié)構(gòu),，能夠有效地防止氣體泄漏，保證真空系統(tǒng)的密封性,。2. 耐腐蝕性：材料具有良好的耐腐蝕性,，能夠在半導(dǎo)體制造過(guò)程中的化學(xué)物質(zhì)環(huán)境中穩(wěn)定工作。3. 高精度：能夠精確地控制氣體的流量,，滿足半導(dǎo)體制造工藝對(duì)精度的要求,。4. 快速響應(yīng)：可以快速地開(kāi)啟和關(guān)閉，以適應(yīng)半導(dǎo)體制造過(guò)程中的快速氣體控制需求,。5. 可靠性高：設(shè)計(jì)和制造過(guò)程嚴(yán)格,，保證了其在長(zhǎng)期使用中的可靠性和穩(wěn)定性。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT,、新加坡Mi...

微泰,，蝶閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。微泰蝶閥其特點(diǎn)是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計(jì)? 高性能集成控制器? 使用維修零件套件輕松維護(hù)? 應(yīng)用：半導(dǎo)體和工業(yè)過(guò)程的壓力控制,。蝶閥規(guī)格如下：法蘭尺寸(內(nèi)徑)：DN40,、DN50、饋通：旋轉(zhuǎn)饋通,、閥門密封：...

微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點(diǎn)：其閥門驅(qū)動(dòng)部分的所有滾子和軸承都經(jīng)過(guò)精心防護(hù)處理,，形成屏蔽和保護(hù)環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring），通過(guò)三重預(yù)防方式有效切斷粉末（Powder）,，從而延長(zhǎng)閥門驅(qū)動(dòng)及使用壽命,。該閘閥采用的三重預(yù)防驅(qū)動(dòng)方式中的 Shield 功能，能夠出色地防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部,，同時(shí)具備三重保護(hù)驅(qū)動(dòng)保護(hù)環(huán),，可延長(zhǎng) GV 壽命的 Shield 方法，并已供應(yīng)給海外半導(dǎo)體 T 公司,、M 公司和 I 公司的 Utility 設(shè)備,。此外，擋板與閥體之間的距離小于 1mm,，能夠強(qiáng)力阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入,，屏蔽擋板采用 1.5t AL 材料制成,，充分考慮...

微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點(diǎn)：其閥門驅(qū)動(dòng)部分的所有滾子和軸承都經(jīng)過(guò)精心防護(hù)處理，形成屏蔽和保護(hù)環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）,，通過(guò)三重預(yù)防方式有效切斷粉末（Powder）,，從而延長(zhǎng)閥門驅(qū)動(dòng)及使用壽命。該閘閥采用的三重預(yù)防驅(qū)動(dòng)方式中的 Shield 功能,，能夠出色地防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部,，同時(shí)具備三重保護(hù)驅(qū)動(dòng)保護(hù)環(huán)，可延長(zhǎng) GV 壽命的 Shield 方法,，并已供應(yīng)給海外半導(dǎo)體 T 公司,、M 公司和 I 公司的 Utility 設(shè)備。此外,，擋板與閥體之間的距離小于 1mm,，能夠強(qiáng)力阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入，屏蔽擋板采用 1.5t AL 材料制成,，充分考慮...

微泰高壓閘閥可以應(yīng)用于多種設(shè)備,，如蒸發(fā)、濺射,、金剛石生長(zhǎng),、PECV、PVD集群,、卷對(duì)卷,、涂層、蝕刻,、擴(kuò)散和CVD等,。它具有陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒和易于維護(hù)等特點(diǎn)，可替代VAT閘閥,。該閥門的規(guī)格包括手動(dòng)或氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式,、1.5英寸至14英寸的法蘭尺寸、CF法蘭類型,、焊接波紋管連接方式,、氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM閥門密封、氟橡膠O型圈閥蓋密封,、≤2秒響應(yīng)時(shí)間,、1.5?至6?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1400 mbar，8?至14?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1200 mbar,、≤30 mbar的開(kāi)始時(shí)壓差,、≤1400 mbar的6?以下閘門差動(dòng)壓力和≤...

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn)：已向中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備,，設(shè)備廠批量供貨，已得到品質(zhì)認(rèn)可,，已完成對(duì)半導(dǎo)體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證,。1，采用陶瓷球機(jī)構(gòu),，抗沖擊和震動(dòng),，保證使用25萬(wàn)次，檢修方便,，較低維護(hù)成本,。2，無(wú)Particle（顆粒）產(chǎn)生,，采用陶瓷球無(wú)腐蝕和顆粒產(chǎn),。3，屏蔽保護(hù)：屏蔽式保護(hù)功能,，閘閥閥體與擋板之間的距離小于1mm,，可防止粉末侵入閥內(nèi)，壽命為半永久性,。4,，保護(hù)環(huán)：Protecrion Ring通過(guò)流速上升設(shè)計(jì)防止粉末凝固,，并通過(guò)打磨（研磨...

微泰,，大閘閥、大型閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。微泰大閘閥,、大型閘閥其特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:用于研發(fā)和工業(yè)的隔離閥。大閘閥,、大型閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng),、法蘭尺寸（內(nèi)徑）：16? ~ 30?、 法蘭型：...

微泰轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,。此外，它極大限度地減少了由于閘板打開(kāi)和關(guān)閉造成的真空壓力變化，使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持,。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型,。一、I型轉(zhuǎn)移閥,。I型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室。本型的特點(diǎn)是葉片在垂直方向上快速移動(dòng),，確保完美的腔室壓力維持,。它采用具有LM導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機(jī)構(gòu)，保證高耐用性和長(zhǎng)壽命,。二,、L型轉(zhuǎn)移閥。L型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造,，其特點(diǎn)是設(shè)計(jì)緊湊,，易于維護(hù)。L型轉(zhuǎn)移閥的特點(diǎn)是閘門在兩個(gè)階段...

微泰,，加熱閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥,。其特點(diǎn)是*使用加熱套或內(nèi)部加熱器加熱*加熱控制器*應(yīng)用:去除粉末/氣體設(shè)備。加熱閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)或氣動(dòng),、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型：ISO、JIS,、ASA,、CF、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥Heating gate valve,，加熱插板閥，加熱閘閥,，加熱器的加熱溫度為180-200度（可通過(guò)控制器設(shè)置溫度）-規(guī)格：適用雙金屬（達(dá)到200度時(shí),，斷電后溫度下降后重新啟動(dòng)），應(yīng)用于去除粉末/氣體設(shè)備,。微泰,，加熱閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。加熱閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)或氣動(dòng),、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸,、法...

半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的解決方案,，真空插板閥品牌—微泰?？刂葡到y(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備中的主要閥門?？刂葡到y(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,，通過(guò)控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)閘板的開(kāi)啟和關(guān)閉。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥,、蝶閥,、多定位閘閥?？刂葡到y(tǒng)和蝶...

半導(dǎo)體真空插板閥是一種用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的真空系統(tǒng)的閥門,，主要作用是控制氣體的流動(dòng)，以維持真空環(huán)境的穩(wěn)定,。微泰半導(dǎo)體真空腔體用閘閥（插板閥）其特點(diǎn)包括：1. 高密封性：采用特殊的密封結(jié)構(gòu),，能夠有效地防止氣體泄漏，保證真空系統(tǒng)的密封性,。2. 耐腐蝕性：材料具有良好的耐腐蝕性,，能夠在半導(dǎo)體制造過(guò)程中的化學(xué)物質(zhì)環(huán)境中穩(wěn)定工作。3. 高精度：能夠精確地控制氣體的流量,，滿足半導(dǎo)體制造工藝對(duì)精度的要求,。4. 快速響應(yīng)：可以快速地開(kāi)啟和關(guān)閉，以適應(yīng)半導(dǎo)體制造過(guò)程中的快速氣體控制需求,。5. 可靠性高：設(shè)計(jì)和制造過(guò)程嚴(yán)格,，保證了其在長(zhǎng)期使用中的可靠性和穩(wěn)定性。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Mi...

微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點(diǎn)：首先,，它已向中國(guó)臺(tái)灣的 Micron,、UMC、AKT 等,，新加坡的 Micron、Global Foundries,，馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,，日本的 Micron、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨,，且品質(zhì)得到認(rèn)可,，同時(shí)完成了對(duì)半導(dǎo)體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證,。其次，該閘閥采用陶瓷球機(jī)構(gòu),，具有良好的抗沖擊和震動(dòng)性能,，保證可使用 25 萬(wàn)次，且檢修方便,，維護(hù)成本較低,。它無(wú) Particle 產(chǎn)生，采用陶瓷球不會(huì)有腐蝕和顆粒產(chǎn)生,。此外,，它還具有屏蔽保護(hù)功能，閘閥閥體與擋板之間的距離小于 1mm,，能有效防止粉末侵入閥內(nèi),，壽命為半永久性。其保護(hù)環(huán)設(shè)計(jì)也很獨(dú)特,，P...

半導(dǎo)體真空插板閥是一種用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的真空系統(tǒng)的閥門,，主要作用是控制氣體的流動(dòng)，以維持真空環(huán)境的穩(wěn)定,。微泰半導(dǎo)體真空腔體用閘閥（插板閥）其特點(diǎn)包括：1. 高密封性：采用特殊的密封結(jié)構(gòu),，能夠有效地防止氣體泄漏，保證真空系統(tǒng)的密封性,。2. 耐腐蝕性：材料具有良好的耐腐蝕性,，能夠在半導(dǎo)體制造過(guò)程中的化學(xué)物質(zhì)環(huán)境中穩(wěn)定工作。3. 高精度：能夠精確地控制氣體的流量,，滿足半導(dǎo)體制造工藝對(duì)精度的要求,。4. 快速響應(yīng)：可以快速地開(kāi)啟和關(guān)閉，以適應(yīng)半導(dǎo)體制造過(guò)程中的快速氣體控制需求,。5. 可靠性高：設(shè)計(jì)和制造過(guò)程嚴(yán)格,，保證了其在長(zhǎng)期使用中的可靠性和穩(wěn)定性。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Mi...

半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的解決方案,，真空插板閥品牌—微泰,。控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備中的主要閥門,。控制系統(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,，通過(guò)控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)閘板的開(kāi)啟和關(guān)閉,。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥,、蝶閥、多定位閘閥,?？刂葡到y(tǒng)和蝶...

微泰，超高壓閘閥應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? 蝕刻? Diffusion?CVD等設(shè)備上,。期特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:研發(fā)和工業(yè)中的UHV隔離。高壓閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)或氣動(dòng),、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型：CF、連接方式：焊接波紋管（AM350或STS316L）,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez ...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，有氣動(dòng)多位置閘閥（氣動(dòng)多定位閘閥、多定位插板閥,、Pneumatic Multi Position）,、氣動(dòng)（鎖定）閘閥和手動(dòng)（鎖定）閘閥，蝶閥,，Butterfly Valve,，步進(jìn)電機(jī)插板閥Stepper Motor Gate Valve，加熱插板閥（加熱閘閥Heating gate valve）,，鋁閘閥（AL Gate Valve）,，三重防護(hù)閘閥，應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Ro...

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn)：插板閥主滑閥的球機(jī)構(gòu)方式-在量產(chǎn)工藝設(shè)備上的性能驗(yàn)證-由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成,，陶瓷和金屬觸摸驅(qū)動(dòng)無(wú)顆粒-已向中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備,，設(shè)備廠批量供貨，已得到品質(zhì)認(rèn)可,，已完成對(duì)半導(dǎo)體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證,，而其他廠家閘閥金屬和金屬觸摸驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生大量顆粒。使用鋼陶瓷球,，與金屬摩擦?xí)r不會(huì)損壞,，金屬與陶瓷球之間不會(huì)產(chǎn)生Particle，半永久板簧（SUS鋼板）的應(yīng)用確保閥門驅(qū)動(dòng)同步性,，采用了固定球?qū)蚱骱弯撎沾?。微泰半?dǎo)體閘閥應(yīng)...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥Heating gate valve，加熱插板閥,，加熱閘閥,，加熱器的加熱溫度為180-200度（可通過(guò)控制器設(shè)置溫度）-規(guī)格：適用雙金屬（達(dá)到200度時(shí)，斷電后溫度下降后重新啟動(dòng)）,，應(yīng)用于去除粉末/氣體設(shè)備,。微泰，加熱閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。加熱閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)或氣動(dòng),、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸、法...

微泰,，多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。微泰多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥其特點(diǎn)是?操作模式：本地和遠(yuǎn)程?緊急情況：自動(dòng)關(guān)閉?慢速泵送功能,。多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥規(guī)格如下：材料：閥體 STS304,， 機(jī)制 STS3...

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，有氣動(dòng)多位置閘閥（氣動(dòng)多定位閘閥、多定位插板閥,、Pneumatic Multi Position）,、氣動(dòng)（鎖定）閘閥和手動(dòng)（鎖定）閘閥，蝶閥,，Butterfly Valve,，步進(jìn)電機(jī)插板閥Stepper Motor Gate Valve，加熱插板閥（加熱閘閥Heating gate valve）,，鋁閘閥（AL Gate Valve）,，三重防護(hù)閘閥，應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Ro...

微泰半導(dǎo)體閘閥與其他類型閘閥相比,，具有以下一些優(yōu)勢(shì)：1. 高精度控制：能更精確地調(diào)節(jié)流體流量,。2. 適應(yīng)半導(dǎo)體環(huán)境：對(duì)溫度、真空等條件有更好的適應(yīng)性,。3. 低顆粒產(chǎn)生：減少對(duì)晶圓等的污染,。4. 長(zhǎng)壽命和可靠性：確保穩(wěn)定運(yùn)行,，減少維護(hù)成本。5. 多功能應(yīng)用：可適用于多種半導(dǎo)體工藝設(shè)備,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò) MW-PACVD 生長(zhǎng)金剛石）,、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）,、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）、Diffusi...

微泰的傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體 PVD CVD 設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),，起著將工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的關(guān)鍵作用,，就像一條溝槽。這些閥門能極大程度地減少閘板開(kāi)閉時(shí)造成的真空壓力變化,，使腔室內(nèi)的真空壓力得以穩(wěn)定維持,。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥分為 I 型和 L 型兩種。其產(chǎn)品范圍包括多種尺寸規(guī)格,，如 32 x 222,、46 x 236、50 x 336,、56 x 500 等,。維護(hù)前使用周期可達(dá) 100 萬(wàn)次，響應(yīng)時(shí)間為 2 秒,，并可根據(jù)客戶要求定制法蘭,。這些轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品有鋁制或不銹鋼制兩種，用于傳輸晶圓小于 450 毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和...