閘閥的優(yōu)點(1)流體阻力小因為閘閥閥體內(nèi)部介質(zhì)通道是直通的,,介質(zhì)流經(jīng)閘閥時不改變其流動方向,,所以流體阻力小,。(2)啟閉力矩小,開閉較省力因為閘閥啟閉時閘板運動方向與介質(zhì)流動方向相垂直,、與截止閥相比,,閘閥的啟閉較省力。(3)介質(zhì)流動方向不受限制,,不擾流,、不降低壓力介質(zhì)可從閘閥兩側(cè)任意方向流過、均能達(dá)到使用的目的,。更適用于介質(zhì)的流動方向可能改變的管路中,。(4)結(jié)構(gòu)長度較短因為閘閥的閘板是垂直置于閥體內(nèi)的,而截止閥閥瓣是水平置于閥體內(nèi)的,,因而結(jié)構(gòu)長度比截止閥短,。(5)密封性能好全開時密封面受沖蝕較小。(6)全開時,,密封面受工作介質(zhì)的沖蝕比截止閥小,。(7)體形比較簡單,鑄造工藝性較好,,適用范圍廣,。微泰...
插板閥,,又稱手動刀型閘閥。是閘閥的一種,。刀形閘閥是一種閘板與閥座始終緊密接觸密封的閥門,其原理是閘板上開有一個通徑大小的圓口,,通過閘板啟閉使得閘板上圓口跟通徑做完全脫離和相吻合的動作,。此閥門的優(yōu)點在于閥體通徑無凹槽,介質(zhì)不會卡阻堵塞,,并且具有全通徑流通特性,,其密封結(jié)構(gòu)可以分軟密封、硬密封結(jié)構(gòu),。穿透式刀閘閥是具有精密構(gòu)造,,工藝性好,結(jié)構(gòu)緊湊等特點,,密封閥座為活動結(jié)構(gòu)設(shè)計,,有防磨損和自動補償功能,因而壽命更長,。在關(guān)閉和開啟過程中閥座跟閘板一直緊貼運動,,使得閥門啟閉力穩(wěn)定,并且具有切斷介質(zhì)等特點,。正確安裝,、定期維護(hù)以及遵守制造商指南對于這些閥門的性能發(fā)揮和使用壽命至關(guān)重要。定制閘閥TRANSFER ...
電動閥門一般由電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)和閥門組成,。電動閥運用電能作為動力來經(jīng)過電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)來驅(qū)動閥門,,完成閥門的開關(guān)動作。從而到達(dá)對管道介質(zhì)的開關(guān)意圖,。電動閥門保護(hù)保養(yǎng)一直是許多用戶朋友所關(guān)心的工作,,由于好的日常保護(hù)能夠直接給咱們提高出產(chǎn)功率,下面咱們就來看下電動閥門的保護(hù)關(guān)鍵:電動閥門應(yīng)存枯燥通風(fēng)的室內(nèi),,通路兩頭須阻塞,。長期存放的電動閥門應(yīng)定時查看,鏟除污物,,并在加工面上涂防銹油,。裝置后,應(yīng)定時進(jìn)行查看,,首要查看項目:密封面磨損狀況,。閥桿和閥桿螺母的梯形螺紋磨損狀況。填料是否過時失效,,如有損壞應(yīng)及時替換,。電動閥門檢修裝置后,,應(yīng)進(jìn)行密封性能實驗。用真空閘閥時,,應(yīng)考慮與工藝氣體的兼容性,、工作壓力范圍、循環(huán)速...
【氣動閘閥的用途】氣動閘閥性能可靠,、操作切換和維修方便,,已被石油、化工,、海運等部門,,用于對各類介質(zhì)控制 【產(chǎn)品特點】1、氣動閘閥配有氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)和手動機(jī)構(gòu)2,、閘閥執(zhí)行器采用雙層氣缸結(jié)構(gòu),,它與單氣缸式氣動閘閥相比,提升力增大了一倍3,、解決了單氣缸式氣動閘閥的某些閥板在閥體內(nèi)楔死而打不開的弊病4,、具備緩沖機(jī)構(gòu),能有效地減輕關(guān)閉閥門時由于活塞下行沖擊而造成的閥板密封面和閥體密封面的磨損,,同時也能避免閘板卡死的現(xiàn)象控制系統(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作,,而多定位閘閥使用氣動控制操作。超真空閘閥Global Foundries閘閥真空閘閥的選擇需要考慮以下幾個關(guān)鍵因素:1.應(yīng)用環(huán)境:確定真空閘閥將用于何種真空環(huán)...
英文名稱;Flange Gate Valve的啟閉件是閘板,,閘板的運動方向與流體方向相垂直,,閘閥只能作全開和全關(guān) , 不能作調(diào)節(jié)和節(jié)流。閘板有兩個密封面 ,常用的模式閘板閥的兩個密封面形成楔形,、楔形角隨閥門參數(shù)而異 , 通常為 50, 介質(zhì)溫度不高時為 2°52' ,。楔式閘閥的閘板可以做成一個整 體,叫做剛性閘板,;也可以做成能產(chǎn)生微量變形的閘板 , 以改善其工藝性 , 彌補密封面角度在加工過程中產(chǎn)生的偏差 , 這種閘板叫做彈性閘板,。閘閥的種類 ,按密封面配置可分為楔式閘板式閘閥和平行閘板式閘閥 , 楔式閘板式。本類閥門在管道中一般應(yīng)當(dāng)水平安裝,。閘閥關(guān)閉時 , 密封面可以只依靠介質(zhì)壓力來密封 ,...
真空閘閥的維護(hù)保養(yǎng)為了確保真空閘閥的正常運行和延長使用壽命,,需要進(jìn)行定期的維護(hù)保養(yǎng)。以下是一些常見的維護(hù)保養(yǎng)措施:1.定期檢查閥門的密封性能,,確保閥瓣和閥座之間的密封良好,,防止氣體泄漏。2.定期對閥門進(jìn)行清洗,,去除閥門內(nèi)部的雜質(zhì)和污垢,,保持閥門的通暢。3.檢查閥門的驅(qū)動裝置,確保其工作正常,。對于電動或氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu),,應(yīng)定期檢查電源或氣源供應(yīng)情況,確保執(zhí)行機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定運行,。4.對于長期未使用的閥門,,應(yīng)定期進(jìn)行啟閉操作,以防止閥門因長期靜止而出現(xiàn)故障,。5.在使用過程中,,應(yīng)避免對閥門施加過大的力矩或沖擊力,以免損壞閥門或影響其密封性能,。真空閘閥廣泛應(yīng)用于各種真空系統(tǒng)和工藝過程中,如半導(dǎo)體生產(chǎn),、電子設(shè)備制...
閘閥是各種類型閥門中應(yīng)用很多的閥門,。閘閥根據(jù)閘板的的構(gòu)造又分為兩大類:楔式閘板和平板閘板。楔式閘閥是閘閥中應(yīng)用很廣的閘閥,,它的密封面與垂直中心線形成某個角度,,即兩個密封面形成楔形。密封面的傾斜角度有2度52分,,5度,,8度,10度等,。角度的大小取決于介質(zhì)溫度的高低,,一般工作溫度越高,所取角度越大,,以減少溫度變化時發(fā)生楔住的可能性,。楔式閘閥中,又有雙閘板,、單閘板和彈性閘板之分,。雙閘板的優(yōu)點是:對密封面的角度的精度要求不高,溫度變化不易引起楔住現(xiàn)象,,密封面的磨損可以在維修時加墊片補償,。缺點是,這種結(jié)構(gòu)零件較多,,同時在粘性介質(zhì)中容易粘結(jié),,影響密封。尤其是當(dāng)上下?lián)醢寤蚵菟菽笍?qiáng)度常年銹蝕后閘板容易脫落失...
單閘板結(jié)構(gòu)簡單,,使用可靠,,但對密封面的角度的精度要求較高,加工和維修比較困難,溫度變化時有楔住的可能,。彈性閘板,,它具有結(jié)構(gòu)簡單、使用可靠的優(yōu)點,,又能產(chǎn)生微量的彈性變形來彌補密封面角度加工過程中產(chǎn)生的偏差,,改善了工藝性,因此這種結(jié)構(gòu)已經(jīng)被廣為采用,,但要注意在高溫時防止楔住,。楔式閘板常用于高溫、高壓,、低溫,、大口徑等工況。平板閘閥主要用于輸送天然氣,、原油,、成品油及中低壓大口徑閥門中。平板閘閥適用的場合:1.石油,、天然氣輸送管線,。帶導(dǎo)流孔的平板閘閥還便于清掃管線。2.成品油的輸送管線和貯存設(shè)備,。3.石油,、天然氣的開采井口裝置,也就是采油樹用閥,。4.常有懸浮顆粒介質(zhì)的管道,。5.城市煤氣輸送管線。6.自來...
刀型閘閥,,也叫刀形閘閥,、刀閘閥,適用于帶有懸浮顆粒,、纖維材料的紙漿,、污水、煤漿,、灰渣水泥混合物等介質(zhì)的管道,,靠可以切割纖維材料的刀刃形閘板來切斷這些介質(zhì)。閥體實際上不存在腔室,,閘板在側(cè)面導(dǎo)向槽內(nèi)升降,,并由底部的凸耳緊壓在閥座上,如需達(dá)到較高的介質(zhì)密封性時,,可選用O形密封閥座實現(xiàn)雙向密封,。按驅(qū)動方式分為手動刀型閘閥,、氣動刀型閘閥、電動刀型閘閥,。刀型閘閥操作輕便靈活,、體積小、通道流暢,、流阻小,、重量輕、易安裝,、易拆卸,,公稱尺寸DN50~DN800,可在工作壓力0.6MPa~1.6MPa,,使用溫度≤100℃情況下正常工作,。刀型閘閥其閘板具有剪切功能,可刮除密封面上的粘著物,,自動除雜物,。不銹鋼閘板可防止...
運轉(zhuǎn)中的電動閥門,各種閥件應(yīng)完全,、無缺。法蘭螺紋和支架上的螺栓不可短少,,螺紋應(yīng)無缺無缺,,不允許有松動現(xiàn)象。手輪上的緊固螺母,,如發(fā)現(xiàn)松動應(yīng)及時擰緊,,避免磨損銜接處或丟失手輪和銘牌。手輪如有丟失,,不允許用活扳手替代,,應(yīng)及時配齊。填料壓蓋不允許傾斜或無預(yù)緊空隙,。對簡單受到雨雪,、塵埃、風(fēng)沙等污物的環(huán)境中的電動閥門,,其閥桿要裝置保護(hù)罩,。電動閥門上的標(biāo)尺應(yīng)堅持無缺、準(zhǔn)確,、明晰,。電動閥門的鉛封、蓋帽,、氣動附件等應(yīng)完全無缺,。保溫夾套應(yīng)無凹陷、裂紋。不允許在運轉(zhuǎn)中的電動閥門上敲打,、站人或支承重物,;特別是非金屬電動閥門和鑄鐵電動閥門,更要制止,。閘閥啟閉時較省力,。是與截止閥相比而言,因為無論是開或閉,,閘板運動方向均...
真空閥可以根據(jù)其工作原理,、結(jié)構(gòu)特點、應(yīng)用領(lǐng)域等多種方式分類,。以下是一些常見的分類方法:1.按工作原理分類:o機(jī)械式真空閥:通過機(jī)械運動來控制真空環(huán)境的開關(guān),。o電磁式真空閥:利用電磁力來驅(qū)動閥門的開啟和關(guān)閉。o氣動式真空閥:使用壓縮空氣或氣體作為動力源來控制閥門動作,。o熱導(dǎo)式真空閥:利用熱導(dǎo)原理,,通過加熱或冷卻來控制真空度。2.按結(jié)構(gòu)特點分類:o直通式真空閥:流體通道為直線型,,適用于高真空系統(tǒng),。o角式真空閥:流體通道呈90度彎曲,常用于空間受限的場合,。o三通式真空閥:具有三個接口,,可以實現(xiàn)流體的分流或合流。o多通路真空閥:具有多個通道,,適用于復(fù)雜的真空系統(tǒng),。3.按應(yīng)用領(lǐng)域分類:o半導(dǎo)體行業(yè)真空閥...
真空閥可以根據(jù)其工作原理、結(jié)構(gòu)特點,、應(yīng)用領(lǐng)域等多種方式分類,。以下是一些常見的分類方法:1.按工作原理分類:o機(jī)械式真空閥:通過機(jī)械運動來控制真空環(huán)境的開關(guān)。o電磁式真空閥:利用電磁力來驅(qū)動閥門的開啟和關(guān)閉,。o氣動式真空閥:使用壓縮空氣或氣體作為動力源來控制閥門動作,。o熱導(dǎo)式真空閥:利用熱導(dǎo)原理,通過加熱或冷卻來控制真空度,。2.按結(jié)構(gòu)特點分類:o直通式真空閥:流體通道為直線型,,適用于高真空系統(tǒng)。o角式真空閥:流體通道呈90度彎曲,,常用于空間受限的場合,。o三通式真空閥:具有三個接口,可以實現(xiàn)流體的分流或合流,。o多通路真空閥:具有多個通道,,適用于復(fù)雜的真空系統(tǒng),。3.按應(yīng)用領(lǐng)域分類:o半導(dǎo)體行業(yè)真空閥...
閘閥是一種用于控制流體流動的閥門,通常用于管道中,,以實現(xiàn)流體的開啟,、關(guān)閉或調(diào)節(jié)流量。它的工作原理是通過旋轉(zhuǎn)或升降閘板來截斷或?qū)б黧w流動,。根據(jù)不同的應(yīng)用場景,,閘閥可以分為多種類型,如手動閘閥,、電動閘閥,、氣動閘閥等。插板閥是一種用于控制流體介質(zhì)的流動方向的閥門,,其主要特點是結(jié)構(gòu)簡單,、啟閉迅速、密封性能好,,廣泛應(yīng)用于石油,、化工、水處理等領(lǐng)域,。插板閥是一種用于控制流體流動的閥門,,廣泛應(yīng)用于管道系統(tǒng)中,以下是其一些基本應(yīng)用:1.化工行業(yè):在化工生產(chǎn)過程中,,插板閥用于控制介質(zhì)的輸送,,實現(xiàn)管道的啟閉。2.污水處理:在污水處理系統(tǒng)中,,插板閥用于調(diào)節(jié)水質(zhì)和流量,保證污水處理效果,。3.水電行業(yè):在水電站中,,插板...
閘閥閘閥的工作原理是通過升降閘板(閥瓣)來控制流體流動。閘板通常位于閥門的底部,,當(dāng)閘板提升時,,流體通道打開,閥門開啟,;當(dāng)閘板下降并密封在閥座上時,,流體通道關(guān)閉,閥門關(guān)閉,。閘閥的這種結(jié)構(gòu)使其在關(guān)閉狀態(tài)下具有良好的密封性能,。蝶閥蝶閥的工作原理是通過旋轉(zhuǎn)蝶板(閥瓣)來控制流體的流動。蝶板位于閥門的中心,,與管道軸線成一定角度,。當(dāng)?shù)逍D(zhuǎn)至與流體流動方向平行時,,閥門開啟;旋轉(zhuǎn)至垂直于流體流動方向時,,閥門關(guān)閉,。蝶閥的這種結(jié)構(gòu)使其在全開和全關(guān)狀態(tài)下具有較小的流體阻力。微泰控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門,??刂葡到y(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用。小型閘閥閘閥蝶閥蝶閥在全開狀態(tài)下具有較低的流體阻力,,...
英文名稱;Flange Gate Valve的啟閉件是閘板,,閘板的運動方向與流體方向相垂直,閘閥只能作全開和全關(guān) , 不能作調(diào)節(jié)和節(jié)流,。閘板有兩個密封面 ,常用的模式閘板閥的兩個密封面形成楔形,、楔形角隨閥門參數(shù)而異 , 通常為 50, 介質(zhì)溫度不高時為 2°52' 。楔式閘閥的閘板可以做成一個整 體,,叫做剛性閘板,;也可以做成能產(chǎn)生微量變形的閘板 , 以改善其工藝性 , 彌補密封面角度在加工過程中產(chǎn)生的偏差 , 這種閘板叫做彈性閘板。閘閥的種類 ,按密封面配置可分為楔式閘板式閘閥和平行閘板式閘閥 , 楔式閘板式,。本類閥門在管道中一般應(yīng)當(dāng)水平安裝,。閘閥關(guān)閉時 , 密封面可以只依靠介質(zhì)壓力來密封 ,...
微泰,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,。此外,,它極大限度地減少了由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化,使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持,。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型? Product Range : 32 x 222 / 46 x 236 ,,50 x 336 / 56 x 500 ,? Cycles of first service : 1,000,000 ? Response Time : 2sec ? Customer Specified F...
水電站作為重要的可再生能源設(shè)施,,主要通過水流驅(qū)動發(fā)電機(jī)來生成電能,。在水電站的設(shè)計和運行中,各類閥門至關(guān)重要,,它們在水流的控制,、調(diào)節(jié)和安全保護(hù)中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。本文將探討水電站中常用的幾種閥門及其功能,。1.閘閥是水電站中常用的閥門之一,,主要用于截斷或連接管道流體,。由于其流體阻力較小,流通能力強(qiáng),,因此在水電站的進(jìn)水和出水管道中廣泛應(yīng)用,。閘閥基本上適用于全開或全關(guān)狀態(tài),不適合調(diào)節(jié)流量,,通常用于需要徹底封閉的場合,。2.球閥因其結(jié)構(gòu)簡單、密封性好,、流體阻力小而受到青睞,。它的開關(guān)速度快,通常用于需要快速啟閉的場合,。在水電站中,,球閥常用于水流的控制和分配。高質(zhì)量的不銹鋼球閥可用于輸送清水和某些化學(xué)介質(zhì),。閘閥...
微泰的傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體 PVD CVD 設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),,起著將工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的關(guān)鍵作用,就像一條溝槽,。這些閥門能極大程度地減少閘板開閉時造成的真空壓力變化,,使腔室內(nèi)的真空壓力得以穩(wěn)定維持。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥分為 I 型和 L 型兩種,。其產(chǎn)品范圍包括多種尺寸規(guī)格,,如 32 x 222、46 x 236,、50 x 336、56 x 500 等,。維護(hù)前使用周期可達(dá) 100 萬次,,響應(yīng)時間為 2 秒,并可根據(jù)客戶要求定制法蘭,。這些轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品有鋁制或不銹鋼制兩種,,用于傳輸晶圓小于 450 毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和...
閘閥是啟閉件(閘板),由閥桿帶動,,沿閥座(密封面)做直線升降運動的閥門,。一般,,閘閥不可用來調(diào)節(jié)流量,只能作為截斷裝置使用,,要么完全開啟,,要么完全關(guān)閉。在各種類型的閥門中,,閘閥是應(yīng)用很多的一種,。既適用于常溫和常壓工況,也適用于高溫及低溫和高壓及低壓工況,,并可以通過選用不同的材質(zhì),,適用于各種不同的介質(zhì)中。閘閥具有如下優(yōu)點:①流體阻力小,。閘閥閥體內(nèi)部介質(zhì)通道是直通的,,介質(zhì)流經(jīng)閘閥時不改變其流動方向,因而流體阻力較小,。②結(jié)構(gòu)長度(與管道相連接的兩端面間的距離)較小,。由于閘板呈圓盤狀,是垂直置于閥體內(nèi)的,,而截止閥閥瓣(也呈圓盤狀)是平行置于閥體內(nèi)的,,因而與截止閥相比,其結(jié)構(gòu)長度較小,。如PN16,、DN15...
微泰,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,。此外,,它極大限度地減少了由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化,使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持,。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型? Product Range : 32 x 222 / 46 x 236 ,,50 x 336 / 56 x 500 ,? Cycles of first service : 1,000,000 ? Response Time : 2sec ? Customer Specified F...
微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點:其閥門驅(qū)動部分的所有滾子和軸承都經(jīng)過精心防護(hù)處理,,形成屏蔽和保護(hù)環(huán)(Shield Blocker 和 Protection Ring),,通過三重預(yù)防方式有效切斷粉末(Powder),從而延長閥門驅(qū)動及使用壽命,。該閘閥采用的三重預(yù)防驅(qū)動方式中的 Shield 功能,,能夠出色地防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部,,同時具備三重保護(hù)驅(qū)動保護(hù)環(huán),可延長 GV 壽命的 Shield 方法,,并已供應(yīng)給海外半導(dǎo)體 T 公司,、M 公司和 I 公司的 Utility 設(shè)備。此外,,擋板與閥體之間的距離小于 1mm,,能夠強(qiáng)力阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入,屏蔽擋板采用 1.5t AL 材料制成,,充分考慮...
微泰半導(dǎo)體閘閥的特點,,首先介紹一下起三重保護(hù)的保護(hù)環(huán)機(jī)能,采用鋁質(zhì)材料減少重量,,并提高保護(hù)環(huán)的內(nèi)部粗糙度,,防止工程副產(chǎn)物堆積黏附。提升保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速設(shè)計,,保護(hù)環(huán)逐步收窄,,提升流速,防止粉塵黏附,。采用三元系O型圈,,保證保護(hù)環(huán)驅(qū)動穩(wěn)定(保證30萬次驅(qū)動)。微泰半導(dǎo)體閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過MW-PACVD生長金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群,、卷對卷)? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴(kuò)散)?CVD(化學(xué)...
微泰高壓閘閥可以應(yīng)用于多種設(shè)備,,如蒸發(fā)、濺射,、金剛石生長,、PECV、PVD集群,、卷對卷,、涂層、蝕刻,、擴(kuò)散和CVD等,。它具有陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒和易于維護(hù)等特點,可替代VAT閘閥,。該閥門的規(guī)格包括手動或氣動驅(qū)動方式,、1.5英寸至14英寸的法蘭尺寸、CF法蘭類型,、焊接波紋管連接方式、氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM閥門密封,、氟橡膠O型圈閥蓋密封,、≤2秒響應(yīng)時間,、1.5?至6?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1400 mbar,8?至14?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1200 mbar,、≤30 mbar的開始時壓差,、≤1400 mbar的6?以下閘門差動壓力和≤...
微泰主要產(chǎn)品有1、-手動鎖定閥:操作鎖定按鈕關(guān)閉正在抽吸中的切斷閥門切斷現(xiàn)象的源頭:2,、特殊閥門:全金屬配件構(gòu)成,,由電磁閥+傳感器+D-Sub+角閥組成;3,、三位閥:半開功能的壓力控制閥,。氣動閘閥:?產(chǎn)品范圍:1.5~30英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù):25萬次?響應(yīng)時間:0.2秒~3秒;手動(鎖定)閘閥?產(chǎn)品范圍:1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù):25萬次,;專門用閘閥:產(chǎn)品范圍:1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù):25萬次,,響應(yīng)時間:0.2秒客戶指定的法蘭,可安裝角閥,;三位閘閥:產(chǎn)品范圍:2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù):2...
微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,,控制系統(tǒng)閘閥,控制閘閥,、控制系統(tǒng)插板閥,、控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,以滑動方式操作,,可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用??刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,,通過控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation(蒸發(fā)),、Sputtering(濺射),、Diamond growth by MW-PACVD(通過 MW-PACVD 生長金剛石)、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群,、卷對卷)、Coating(涂層),、Etch(蝕刻),、Diffusion(擴(kuò)散)...
微泰控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門??刂葡到y(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,,通過控制系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)閘板的開啟和關(guān)閉。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類:控制系統(tǒng)閘閥、蝶閥,、多定位閘閥,。控制系統(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作,,而多定位閘閥使用氣動控制操作,。一、控制系統(tǒng)閘閥,??刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,以滑動方式操作,,可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用??刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,,通過控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力。二,、蝶閥,。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu),通過閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程。蝶閥通過控...
微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥蝶閥Butterfly Valve,。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu),,通過閘板旋轉(zhuǎn)操作。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程,。蝶閥通過控制器和步進(jìn)電機(jī)自動控制到用戶指定的值,保持一致的真空壓力,??梢栽诟哒婵窄h(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,??刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,通過控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation(蒸發(fā)),、Sputtering(濺射)、Diamond growth by MW-PACVD(通過 MW-PACVD 生長金剛石),、PECV,、...
微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,,步進(jìn)電機(jī)插板閥Stepper Motor Gate Valve,-產(chǎn)品范圍:2.5“~10”-壓力控制-使用步進(jìn)電機(jī)Stepper Motor GV,- Product Range : 2.5” ~ 10”- Pressure Controlled- Using Stepper Motor,,用步進(jìn)電機(jī)/控制器操作閥門-通過步進(jìn)電機(jī)/控制器精確控制閥門的壓力-根據(jù)產(chǎn)品的不同,,控制器可以安裝在客戶需要的地方,微泰,,步進(jìn)電機(jī)插板閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD...
微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,鋁閘閥(AL Gate Valve)-產(chǎn)品范圍:1.5英寸~10英寸-12英寸可生產(chǎn)的產(chǎn)品尺寸,,閥體材料:鋁,、氣動、緊湊設(shè)計,、重量輕,。閘門,閥蓋密封:Viton O-Ring使用次數(shù):100000次,,易于維護(hù),,低顆粒(陶瓷球機(jī)構(gòu))。- Body Material : Aluminum - Pneumatic - Compact Design- Light of weight - Gate, Bonnet Seal : Viton O-Ring - Cycles until first service : 100,000 - Easy Mainten...
微泰,,專門用閘閥應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating? Etch? Diffusion(擴(kuò)散)?CVD等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。期特點是*使用維修配件工具包易于維護(hù)*將電磁閥和位置傳感器連接到15針D-Sub*鎖定功能*限位開關(guān)*?速度控制器&電磁閥(2Port+N2Port)用不銹鋼管連接(φ6)*應(yīng)用:泵隔離,產(chǎn)品工藝水平要求高的地方,。專門用閘閥規(guī)格如下:驅(qū)動方式:氣動、法蘭尺寸:4英寸~ 8英寸,、法蘭類型:ISO, JIS, ASA, CF,、連接方式:焊接波紋管、閥門...