X系列探針臺:1,、基板采用鑄件為基準進行設(shè)計,使運動的穩(wěn)定性得到提升,,底板的重量同樣在隔震性能上得到提高,。2、運動系統(tǒng)采用的是日系高剛性,、高精密的導軌和絲桿,;反饋檢測系統(tǒng)采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進口運動控制卡與電機形成整個閉環(huán)的反饋檢測,以保證實現(xiàn)高...
探針臺大家不陌生了,,是我們半導體實驗室電性能測試的常用設(shè)備,,也是各大實驗室的熟客。優(yōu)點太多了,,成本低,,用途廣,操作方便,,對環(huán)境要求也不高,,即使沒有超凈間,普通的壞境也可以配置,,測試結(jié)果穩(wěn)定,,客觀,。深受工程師們的青睞。手動探針臺用途:探針臺主要應用于半導體行業(yè),、...
精細探測技術(shù)帶來新優(yōu)勢:先進應力控制技術(shù)亦是必須的,。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷,在銅質(zhì)墊片加上鋁帽將能減少對易碎低K/高K介電的負面效應,。以先進工藝驅(qū)動在有效區(qū)域上墊片的測試,,以低沖擊的探針卡,避免接觸所產(chǎn)生阻抗問題,。另一個可能損害到晶圓的來源是探針力...
近年來,,半導體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石和兵家必爭之地成為本輪貿(mào)易戰(zhàn)的焦點。2019年,,中美摩擦,、日韓半導體材料爭端對全球半導體產(chǎn)業(yè)競爭格局也帶來了較大的影響。在自主可控發(fā)展策略指導下,、在資本與相關(guān)配套政策扶植下,,中國大陸正在也必將成為全球半導體產(chǎn)業(yè)擴張寶地,未來幾年...
據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計,,2020年及2021年,,全球半導體測試設(shè)備市場規(guī)模或?qū)⒎謩e達到52.2億美元及56.1億美元,。隨著國內(nèi)半導體技術(shù)的發(fā)展,,多個晶圓廠及實驗室的建立,國內(nèi)探針臺市場規(guī)模2019年約為10.25億元,,2022年將增長到15.69億元,。隨著半導體行...
在工藝方面,常用的測試探針是由針頭,、針管、彈簧這三個組件構(gòu)成的,,測試探針中的彈簧是測試探針使用壽命的關(guān)鍵因素,,電鍍處理過的彈簧使用壽命高,不會生銹,,也能提高測試探針是持久性和導電性,。因此,電鍍工藝是生產(chǎn)半導體測試探針的主要技術(shù),,而國內(nèi)的電鍍工藝尚且有待突破,。長...
晶圓測試是在半導體器件制造過程中執(zhí)行的一個步驟。在此步驟中,,在將晶圓送至芯片準備之前執(zhí)行,,晶圓上存在的所有單個集成電路都通過對其應用特殊測試模式來測試功能缺陷,。晶圓測試由稱為晶圓探針器的測試設(shè)備執(zhí)行。晶圓測試過程可以通過多種方式進行引用:晶圓終端測試(WFT)...
高性能密閉微暗室有效屏蔽:腔體采用導電的處理工藝,,確保了各零件之間的導通狀態(tài)從而達到全屏蔽的效果,,降低系統(tǒng)噪聲,有效屏蔽外界干擾,,并提供低漏電流保護,,為微弱電信號測試提供了合理的測試環(huán)境;同時也注意零件配合以及裝配的同時,,保證內(nèi)部的密封性,。對于一些特殊的器件/...
對于當今的多芯片(multi-diepackages)封裝,例如堆疊芯片級封裝(SCSP)或系統(tǒng)級封裝(SiP)–開發(fā)用于識別已知測試芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接觸式(RF)探針對提高整體系統(tǒng)產(chǎn)量至關(guān)重要,。晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任何...
盡管半導體測試探針國產(chǎn)化迫在眉睫,,但從技術(shù)的角度來看,要想替代進口產(chǎn)品卻并不容易,。業(yè)內(nèi)人士指出,,國內(nèi)半導體測試探針還只能用于要求不高的測試需求,比如可靠性測試國產(chǎn)探針可以替代很多,,但功能性測試和性能測試還有待突破,。彈簧測試探針主要的技術(shù)是精微加工和組裝能力,涉...
探針卡沒焊好:1.探針卡針焊得不到位,;2.基板上銅箔剝落,,針焊接不牢固,或焊錫沒有焊好而造成針虛焊,;3.探針卡布線斷線或短路,;背面有突起物,焊錫線頭針尖磨平:1.針在使用很長時間后尖正常損耗,;2.操作工用過粗的砂子,;3.砂針尖時用力過猛;4.砂得時間過長,;針尖...
手動探針臺的使用方式:待測點位置確認好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,,以防動作過大誤傷芯片,當探針針尖懸空于被測點上空時,,可先用Y軸旋...
探針臺概要:晶圓探針臺是在半導體開發(fā)和制造過程中用于晶片電氣檢查的設(shè)備,。在電氣檢查中,通過探針或探針卡向晶片上的各個設(shè)備提供來自測量儀器或測試器的測試信號,,并返回來自設(shè)備的響應信號,。在這種情況下,晶片探測器用于輸送晶片并接觸設(shè)備上的預定位置。探針臺是檢測芯片的...
探針臺是半導體(包括集成電路,、分立器件,、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,,其普遍應用于復雜,、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本,。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),,負責晶圓的輸送與定位,,使晶...
高精度探針臺:目前世界出貨量的型號吸收了很新的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),,這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證,。特性1:OTS-近的位置對正系統(tǒng)(光學目標對準)OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非...
在設(shè)備方面,,生產(chǎn)半導體測試探針的相關(guān)設(shè)備價格較高,,國內(nèi)廠商沒有足夠的資金實力,采購日本廠商的設(shè)備,。另一方面,,對于半導體設(shè)備而言,產(chǎn)業(yè)鏈各個環(huán)節(jié)均會采購定制化的設(shè)備,,客戶提出自身需求和配置,,上游設(shè)備廠商通過與大型客戶合作開發(fā),生產(chǎn)出經(jīng)過優(yōu)化的適合該客戶的設(shè)備,。因...
探針臺市場逐年增長:半導體測試對于良率和品質(zhì)控制至關(guān)重要,,是必不可少的環(huán)節(jié),主要涉及兩種測試(CP測試,、FT測試等),、三種設(shè)備(探針臺、測試機,、分選機等),。根據(jù)半導體產(chǎn)線投資配置規(guī)律,測試設(shè)備在半導體設(shè)備投資的占比約為8%,,次于晶圓制造裝備,其中測試機,、分選機...
半導體生產(chǎn)過程中的探測,,可略分為三大類:1.參數(shù)探測:提供制造期間的裝置特性測量;2.晶圓探測:當制造完成要進行封裝前,,在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能,;3.以探針臺為基礎(chǔ)的晶圓處理探測(FinalTest):在出貨給顧客前,,對封裝完成的裝置...
探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上,,從而可以與測試儀器/半導體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導體器件,。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,,也可以很復雜,,包括微電路的完整功能測試??梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進行測試,。在晶圓級別的測試允...
手動探針臺的使用方式:1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),,使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上,。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品,。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下,。4.顯微鏡...
手動探針臺的使用方式:待測點位置確認好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,,當探針針尖懸空于被測點上空時,,可先用Y軸旋...
探針臺如何工作:探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物,。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置,,就可以對待測物進行測試,。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起...
為什么要射頻探測,?由于器件小形化及高頻譜的應用,,電路尺寸不斷縮小,類似微帶線及PCB版本Pad的測試沒有物理接口,,使得儀表本身無法與待測物進行直接連接,,如果人為的焊接射頻接口難免會引入不確定的誤差,所以射頻探針的使用完美的解決了這個問題,。射頻探頭和校準基板允許...
探針臺主要應用于半導體行業(yè)以及光電行業(yè)的測試,。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,,全自動,。從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,,LCD平板探針臺,,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺,??v觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-...
平面電機x-y步進工作臺:平面電機由定子和動子組成,,它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,,定子是基礎(chǔ)平臺,動子和定子間有一層氣墊,,動子浮于氣墊上,,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺,,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,,使用壽命長。而...
手動探針臺的使用方式:待測點位置確認好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,,以防動作過大誤傷芯片,,當探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋...
半導體生產(chǎn)過程中的探測,,可略分為三大類:1.參數(shù)探測:提供制造期間的裝置特性測量,;2.晶圓探測:當制造完成要進行封裝前,在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能,;3.以探針臺為基礎(chǔ)的晶圓處理探測(FinalTest):在出貨給顧客前,,對封裝完成的裝置...
高精度探針臺:目前世界出貨量的型號吸收了很新的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),,這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證,。特性1:OTS-近的位置對正系統(tǒng)(光學目標對準)OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非...
探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺,、半自動探針臺、全自動探針臺,。手動探針臺:手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的,,這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤,、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的,。因此一般是在沒...
有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調(diào)整造成的,,所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要?,F(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一介紹,。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養(yǎng):平面電機由定...