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Michelson干涉物鏡,，準直透鏡將白光縮束準直后垂直照射到待測晶圓上,，反射光之間相互發(fā)生干涉，經(jīng)準直鏡后干涉光強進入光纖耦合單元,，完成干涉部分。光纖傳輸?shù)母缮嫘盘栠M入光譜儀,，計算機定時從光譜儀中采集光譜信號，獲取諸如光強,、反射率等信息，計算機對這些信息進行信號處理,，濾除高頻噪聲信息，然后對光譜信息進行歸一化處理,，利用峰值對應的波長值,，計算晶圓膜厚。光源采用氙燈光源,，選擇氙燈作為光源具有以下優(yōu)點：氙燈均為連續(xù)光譜，且光譜分布幾乎與燈輸入功率變化無關(guān),，在壽命期內(nèi)光譜能量分布也幾乎不變；氙燈的光,、電參數(shù)一致性好,，工作狀態(tài)受外界條件變化的影響??；氙燈具有較高的電光轉(zhuǎn)換效率，可以輸出高能量的平行光等...

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個重要方向。此項技術(shù)通過使用光譜儀將對條紋的測量轉(zhuǎn)變?yōu)閷Σ煌ㄩL光譜的測量,，分析被測物體的光譜特性，得到相應的長度信息和形貌信息,。與白光掃描干涉術(shù)相比,，它不需要大量的掃描過程,，因此提高了測量效率，并減小了環(huán)境對其影響,。此項技術(shù)能夠測量距離、位移,、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度等。白光干涉光譜分析基于頻域干涉的理論,，采用白光作為寬波段光源，經(jīng)過分光棱鏡折射為兩束光,。這兩束光分別經(jīng)由參考面和被測物體入射，反射后再次匯聚合成,，并由色散元件分光至探測器，記錄頻域干涉信號,。這個光譜信號包含了被測表面信息，如果此時被測物體是薄膜,，則薄膜的厚度也包含在光譜信號當中,。...

在初始相位為零的情況下，當被測光與參考光之間的光程差為零時,，光強度將達到最大值。為了探測兩個光束之間的零光程差位置,，需要使用精密Z向運動臺帶動干涉鏡頭作垂直掃描運動，或移動載物臺,。在垂直掃描過程中，可以用探測器記錄下干涉光強,，得到白光干涉信號強度與Z向掃描位置（兩光束光程差）之間的變化曲線。通過干涉圖像序列中某波長處的白光信號強度隨光程差變化的示意圖,，可以找到光強極大值位置，即為零光程差位置,。通過精確確定零光程差位置，可以實現(xiàn)樣品表面相對位移的精密測量,。同時，通過確定最大值對應的Z向位置,，也可以獲得被測樣品表面的三維高度?？傊坠飧缮婺ず駜x是一種應用很廣的測量薄膜厚度的儀器,。國產(chǎn)膜厚儀行情微...

白光干涉在零光程差處，出現(xiàn)零級干涉條紋（在零級處,，各波長光的干涉亮條紋都重合,，因而零級條紋呈白色）,，隨著光程差的增加,，光源譜寬范圍內(nèi)的每條譜線各自形成的干涉條紋之間互有偏移，疊加的整體效果使條紋對比度下降,。測量精度高，可以實現(xiàn)測量,采用白光干涉原理的測量系統(tǒng)的抗干擾能力強,，動態(tài)范圍大，具有快速檢測和結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點,。普通的激光干涉與白光干涉之間雖然有差別，但也有很多的共同之處,。可以說,，白光干涉實際上就是將白光看作一系列理想的單色光在時域上的相干疊加，在頻域上觀察到的就是不同波長對應的干涉光強變化曲線,。這種膜厚儀可以測量大氣壓下，1 nm到1mm范圍內(nèi)的薄膜厚度,。膜厚儀傳感器精度常用的白光垂直掃描...

基于白光干涉光譜單峰值波長移動的鍺膜厚度測量方案研究：在對比研究目前常用的白光干涉測量方案的基礎(chǔ)上,，我們發(fā)現(xiàn)當兩干涉光束的光程差非常小導致其干涉光譜只有一個干涉峰時,，常用的基于兩相鄰干涉峰間距的解調(diào)方案不再適用,。為此，我們提出了適用于極小光程差并基于干涉光譜單峰值波長移動的測量方案,。干涉光譜的峰值波長會隨著光程差的增大出現(xiàn)周期性的紅移和藍移,，當光程差在較小范圍內(nèi)變化時,，峰值波長的移動與光程差成正比,。根據(jù)這一原理,，搭建了光纖白光干涉溫度傳感系統(tǒng)對這一測量解調(diào)方案進行驗證,，得到了光纖端面半導體鍺薄膜的厚度。實驗結(jié)果顯示鍺膜的厚度為,，與臺階儀測量結(jié)果存在,，這是因為薄膜表面本身并不光滑，臺階儀的測量...

在激光慣性約束核聚變實驗中，靶丸的物性參數(shù)和幾何參數(shù)對靶丸制備工藝改進和仿真模擬核聚變實驗過程至關(guān)重要,。然而，如何對靶丸多個參數(shù)進行同步,、高精度、無損的綜合檢測是激光慣性約束核聚變實驗中的關(guān)鍵問題,。雖然已有多種薄膜厚度及折射率的測量方法，但仍然無法滿足激光核聚變技術(shù)對靶丸參數(shù)測量的高要求,。此外，靶丸的參數(shù)測量存在以下問題：不能對靶丸進行破壞性切割測量,，否則被破壞的靶丸無法用于后續(xù)工藝處理或打靶實驗；需要同時測得靶丸的多個參數(shù),，因為不同參數(shù)的單獨測量無法提供靶丸制備和核聚變反應過程中發(fā)生的結(jié)構(gòu)變化的現(xiàn)象和規(guī)律，并且效率低下,、沒有統(tǒng)一的測量標準。由于靶丸屬于自支撐球形薄膜結(jié)構(gòu)，曲面應力大,、難以展平...

在激光慣性約束核聚變實驗中,，靶丸的物性參數(shù)和幾何參數(shù)對靶丸制備工藝改進和仿真模擬核聚變實驗過程至關(guān)重要,。然而,，如何對靶丸多個參數(shù)進行同步、高精度,、無損的綜合檢測是激光慣性約束核聚變實驗中的關(guān)鍵問題。雖然已有多種薄膜厚度及折射率的測量方法,，但仍然無法滿足激光核聚變技術(shù)對靶丸參數(shù)測量的高要求。此外,，靶丸的參數(shù)測量存在以下問題：不能對靶丸進行破壞性切割測量，否則被破壞的靶丸無法用于后續(xù)工藝處理或打靶實驗,；需要同時測得靶丸的多個參數(shù)，因為不同參數(shù)的單獨測量無法提供靶丸制備和核聚變反應過程中發(fā)生的結(jié)構(gòu)變化的現(xiàn)象和規(guī)律,，并且效率低下、沒有統(tǒng)一的測量標準,。由于靶丸屬于自支撐球形薄膜結(jié)構(gòu)，曲面應力大,、難以展平...

針對微米級工業(yè)薄膜厚度測量,，開發(fā)了一種基于寬光譜干涉的反射式法測量方法,，并研制了適用于工業(yè)應用的小型薄膜厚度測量系統(tǒng),，考慮了成本、穩(wěn)定性,、體積等因素要求。該系統(tǒng)結(jié)合了薄膜干涉和光譜共聚焦原理,，采用波長分辨下的薄膜反射干涉光譜模型，利用經(jīng)典模態(tài)分解和非均勻傅里葉變換的思想,，提出了一種基于相位功率譜分析的膜厚解算算法。該算法能夠有效利用全光譜數(shù)據(jù)準確提取相位變化,，抗干擾能力強,，能夠排除環(huán)境噪聲等假頻干擾。經(jīng)過對PVC標準厚度片,、PCB板芯片膜層及鍺基SiO2膜層的測量實驗驗證,，結(jié)果表明該測厚系統(tǒng)具有1~75微米厚度的測量量程和微米級的測量不確定度，而且無需對焦,，可以在10ms內(nèi)完成單次測量，滿足工...

在激光慣性約束核聚變實驗中,，靶丸的物性參數(shù)和幾何參數(shù)是靶丸制備工藝改進和仿真模擬核聚變實驗過程的基礎(chǔ),，因此如何對靶丸多個參數(shù)進行高精度,、同步、無損的綜合檢測是激光慣性約束核聚變實驗中的關(guān)鍵問題,。以上各種薄膜厚度及折射率的測量方法各有利弊,，但針對本文實驗，仍然無法滿足激光核聚變技術(shù)對靶丸參數(shù)測量的高要求,，靶丸參數(shù)測量存在以下問題：不能對靶丸進行破壞性切割測量,，否則，被破壞后的靶丸無法用于于下一步工藝處理或者打靶實驗,；需要同時測得靶丸的多個參數(shù),，不同參數(shù)的單獨測量,，無法提供靶丸制備和核聚變反應過程中發(fā)生的結(jié)構(gòu)變化現(xiàn)象和規(guī)律,，并且效率低下、沒有統(tǒng)一的測量標準,。靶丸屬于自支撐球形薄膜結(jié)構(gòu),，曲面應力大,、...

目前,，常用的顯微干涉方式主要有Mirau和Michelson兩種方式。Mirau型顯微干涉結(jié)構(gòu)中,，物鏡和被測樣品之間有兩塊平板,，一塊涂覆高反射膜的平板作為參考鏡,，另一塊涂覆半透半反射膜的平板作為分光棱鏡。由于參考鏡位于物鏡和被測樣品之間,，物鏡外殼更加緊湊，工作距離相對較短,，倍率一般為10-50倍,。Mirau顯微干涉物鏡的參考端使用與測量端相同的顯微物鏡，因此不存在額外的光程差,，因此是常用的顯微干涉測量方法之一,。Mirau顯微干涉結(jié)構(gòu)中，參考鏡位于物鏡和被測樣品之間,，且物鏡外殼更加緊湊，工作距離相對較短,，倍率一般為10-50倍,。Mirau顯微干涉物鏡的參考端使用與測量端相同的顯微物鏡，因此不存在...

白光掃描干涉法采用白光為光源，壓電陶瓷驅(qū)動參考鏡進行掃描,，干涉條紋掃過被測面，通過感知相干峰位置來獲得表面形貌信息,。對于薄膜的測量，上下表面形貌,、粗糙度,、厚度等信息能通過一次測量得到,，但是由于薄膜上下表面的反射,，會使提取出來的白光干涉信號出現(xiàn)雙峰形式,，變得更復雜,。另外，由于白光掃描法需要掃描過程,，因此測量時間較長而且易受外界干擾,。基于圖像分割技術(shù)的薄膜結(jié)構(gòu)測試方法,，實現(xiàn)了對雙峰干涉信號的自動分離，實現(xiàn)了薄膜厚度的測量,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以對薄膜的各項光學參數(shù)進行聯(lián)合測量和分析。高精度膜厚儀安裝操作注意事項在納米量級薄膜的各項相關(guān)參數(shù)中,，薄膜材料的厚度是薄膜設(shè)計和制備過程中的重要參數(shù)，是決定...

自1986年E.Wolf證明了相關(guān)誘導光譜的變化以來,，人們開始在理論和實驗上進行探討和研究,。結(jié)果表明,，動態(tài)的光譜位移可以產(chǎn)生新的濾波器，可應用于光學信號處理和加密領(lǐng)域,。本文提出的基于白光干涉光譜單峰值波長移動的解調(diào)方案,，可應用于當兩光程差非常小導致干涉光譜只有一個干涉峰的信號解調(diào)，實現(xiàn)納米薄膜厚度測量,。在頻域干涉中，當干涉光程差超過光源相干長度時,，仍然可以觀察到干涉條紋,。這種現(xiàn)象是因為白光光源的光譜可以看成是許多單色光的疊加,，每一列單色光的相干長度都是無限的。當使用光譜儀接收干涉光譜時,，由于光譜儀光柵的分光作用,，寬光譜的白光變成了窄帶光譜，導致相干長度發(fā)生變化,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以通過對干...

白光干涉法和激光光源相比具有短相干長度的特點，使得兩束光只有在光程差非常小的情況下才能發(fā)生干涉,，因此不會產(chǎn)生干擾條紋。同時,，白光干涉產(chǎn)生的干涉條紋具有明顯的零光程差位置,，避免了干涉級次不確定的問題。本文基于白光干涉原理對單層透明薄膜厚度測量進行了研究,，特別是對厚度小于光源相干長度的薄膜進行了探究,。文章首先詳細闡述了白光干涉原理和薄膜測厚原理，然后在金相顯微鏡的基礎(chǔ)上構(gòu)建了一種型垂直白光掃描系統(tǒng),，作為實驗中測試薄膜厚度的儀器,，并利用白光干涉原理對位移量進行了標定。 操作需要一定的專業(yè)基礎(chǔ)和經(jīng)驗,，需要進行充分的培訓和實踐,。高速膜厚儀制作廠家 折射率分別為1．45和1．62的2塊玻璃板,，使其一...

白光光譜法具有測量范圍大,、連續(xù)測量時波動范圍小的優(yōu)點,，可以解決干涉級次模糊識別的問題。但在實際測量中,，由于誤差、儀器誤差和擬合誤差等因素的影響,，干涉級次的測量精度仍然受到限制,，會出現(xiàn)干擾級次的誤判和干擾級次的跳變現(xiàn)象。這可能導致計算得出的干擾級次m值與實際譜峰干涉級次m'（整數(shù)）之間存在誤差,。因此，本文設(shè)計了以下校正流程圖,，基于干涉級次的連續(xù)特性得到了靶丸殼層光學厚度的準確值,。同時,，給出了白光干涉光譜測量曲線。Michelson干涉儀的光路長度支配了精度,。薄膜干涉膜厚儀定做價格針對微米級工業(yè)薄膜厚度測量,，開發(fā)了一種基于寬光譜干涉的反射式法測量方法，并研制了適用于工業(yè)應用的小型薄膜厚度測量系統(tǒng),，...

在白光干涉中，當光程差為零時,，會出現(xiàn)零級干涉條紋,。隨著光程差的增加，光源譜寬范圍內(nèi)的每條譜線形成的干涉條紋之間會發(fā)生偏移,，疊加后整體效果導致條紋對比度降低,。白光干涉原理的測量系統(tǒng)精度高，可以進行測量,。采用白光干涉原理的測量系統(tǒng)具有抗干擾能力強,、動態(tài)范圍大、快速檢測和結(jié)構(gòu)簡單緊湊等優(yōu)點,。雖然普通的激光干涉與白光干涉有所區(qū)別,，但它們也具有許多共同之處,。我們可以將白光看作一系列理想的單色光在時域上的相干疊加，而在頻域上觀察到的就是不同波長對應的干涉光強變化曲線,。白光干涉膜厚儀需要進行校準和選擇合適的標準樣品,，以保證測量結(jié)果的準確性。蘇州膜厚儀設(shè)備生產(chǎn)目前,，常用的顯微干涉方式主要有Mirau和Mich...

光纖白光干涉測量使用的是寬譜光源,。在選擇光源時，需要重點考慮光源的輸出光功率和中心波長的穩(wěn)定性,。由于本文所設(shè)計的解調(diào)系統(tǒng)是通過測量干涉峰值的中心波長移動來實現(xiàn)的,，因此光源中心波長的穩(wěn)定性對實驗結(jié)果會產(chǎn)生很大的影響。實驗中我們選擇使用由INPHENIX公司生產(chǎn)的SLED光源,，相對于一般的寬帶光源具有輸出功率高,、覆蓋光譜范圍寬等優(yōu)點。該光源采用+5V的直流供電,，標定中心波長為1550nm，且其輸出功率在一定范圍內(nèi)可調(diào),。驅(qū)動電流可以達到600mA,。Michelson干涉儀的光路長度支配了精度。防水膜厚儀廠家供應白光掃描干涉法可以避免色光相移干涉法測量的局限性,。該方法利用白光作為光源,，由于白光是一種寬...

本文主要以半導體鍺和貴金屬金兩種材料為對象，研究了白光干涉法,、表面等離子體共振法和外差干涉法實現(xiàn)納米級薄膜厚度準確測量的可行性。由于不同材料薄膜的特性不同,，所適用的測量方法也不同,。半導體鍺膜具有折射率高，在通信波段（1550nm附近）不透明的特點,，選擇采用白光干涉的測量方法,；而厚度更薄的金膜的折射率為復數(shù)，且能激發(fā)明顯的表面等離子體效應,，因而可借助基于表面等離子體共振的測量方法,；為了進一步改善測量的精度，論文還研究了外差干涉測量法,，通過引入高精度的相位解調(diào)手段,，檢測P光與S光之間的相位差提升厚度測量的精度。隨著技術(shù)的不斷進步和應用領(lǐng)域的擴展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將得到進一步提高,。高精度膜...

在納米量級薄膜的各項相關(guān)參數(shù)中,，薄膜材料的厚度是薄膜設(shè)計和制備過程中的重要參數(shù)，是決定薄膜性質(zhì)和性能的基本參量之一,，它對于薄膜的力學,、光學和電磁性能等都有重要的影響[3]。但是由于納米量級薄膜的極小尺寸及其突出的表面效應,，使得對其厚度的準確測量變得困難,。經(jīng)過眾多科研技術(shù)人員的探索和研究，新的薄膜厚度測量理論和測量技術(shù)不斷涌現(xiàn),，測量方法實現(xiàn)了從手動到自動,，有損到無損測量。由于待測薄膜材料的性質(zhì)不同,，其適用的厚度測量方案也不盡相同,。對于厚度在納米量級的薄膜，利用光學原理的測量技術(shù)應用,。相比于其他方法,，光學測量方法因為具有精度高，速度快,，無損測量等優(yōu)勢而成為主要的檢測手段,。其中具有代表性的測量方法有...

干涉法和分光光度法都是基于相干光形成等厚干涉條紋的原理來確定薄膜厚度和折射率。不同于薄膜自發(fā)產(chǎn)生的等傾干涉,，干涉法是通過設(shè)置參考光路來形成參考平面和測量平面間干涉條紋,，因此其相位信息包含兩個部分，分別是由掃描高度引起的附加相位和由薄膜內(nèi)部多次反射引起的膜厚相位,。干涉法的測量光路使用面陣CCD接收參考平面和測量平面間相干波面的干涉光強分布,。與以上三種點測量方式不同，干涉法能夠一次性生成薄膜待測區(qū)域的表面形貌信息,，但因存在大量軸向掃描和數(shù)據(jù)解算,，完成單次測量的時間相對較長。白光干涉膜厚儀是一種可用于測量透明和平行表面薄膜厚度的儀器,。納米級膜厚儀原理在納米級薄膜的各項相關(guān)參數(shù)中,，薄膜材料的厚度是薄膜...

該文主要研究了以半導體鍺和貴金屬金兩種材料為對象，實現(xiàn)納米級薄膜厚度準確測量的可行性,，主要涉及三種方法,，分別是白光干涉法、表面等離子體共振法和外差干涉法,。由于不同材料薄膜的特性不同,，所適用的測量方法也不同。對于折射率高，在通信波段（1550nm附近）不透明的半導體鍺膜,，選擇采用白光干涉的測量方法,；而對于厚度更薄的金膜，其折射率為復數(shù),，且能夠激發(fā)表面等離子體效應,，因此采用基于表面等離子體共振的測量方法。為了進一步提高測量精度,，論文還研究了外差干涉測量法,，通過引入高精度的相位解調(diào)手段并檢測P光和S光之間的相位差來提高厚度測量的精度?？偟膩碚f,，白光干涉膜厚儀是一種應用很廣的測量薄膜厚度的儀器。薄膜厚...

干涉測量法是一種基于光的干涉原理實現(xiàn)對薄膜厚度測量的光學方法,，是一種高精度的測量技術(shù),，其采用光學干涉原理的測量系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉,、穩(wěn)定性高,、抗干擾能力強、使用范圍廣等優(yōu)點,。對于大多數(shù)干涉測量任務,，都是通過分析薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條紋的形狀和分布規(guī)律，來研究待測物理量引入的光程差或位相差的變化,，從而實現(xiàn)測量目的,。光學干涉測量方法的測量精度可達到甚至優(yōu)于納米量級，利用外差干涉進行測量,，其精度甚至可以達到10^-3 nm量級,。根據(jù)所使用的光源不同，干涉測量方法可分為激光干涉測量和白光干涉測量兩大類,。激光干涉測量的分辨率更高,，但不能實現(xiàn)對靜態(tài)信號的測量，只能測量輸出信號的變化量或連...

自上世紀60年代開始,，西方的工業(yè)生產(chǎn)線廣泛應用基于X及β射線、近紅外光源開發(fā)的在線薄膜測厚系統(tǒng),。隨著質(zhì)檢需求的不斷增長,，20世紀70年代后，電渦流,、超聲波,、電磁電容、晶體振蕩等多種膜厚測量技術(shù)相繼問世,。90年代中期,，隨著離子輔助,、離子束濺射、磁控濺射,、凝膠溶膠等新型薄膜制備技術(shù)的出現(xiàn),，光學檢測技術(shù)也不斷更新迭代，以橢圓偏振法和光度法為主導的高精度,、低成本,、輕便、高速穩(wěn)固的光學檢測技術(shù)迅速占領(lǐng)日用電器和工業(yè)生產(chǎn)市場,，并發(fā)展出了個性化定制產(chǎn)品的能力,。對于市場占比較大的微米級薄膜，除了要求測量系統(tǒng)具有百納米級的測量準確度和分辨率之外,，還需要在存在不規(guī)則環(huán)境干擾的工業(yè)現(xiàn)場下具備較高的穩(wěn)定性和抗干擾能力...

為了提高靶丸內(nèi)爆壓縮效率,，需要確保靶丸所有幾何參數(shù)和物性參數(shù)都符合理想的球?qū)ΨQ狀態(tài)，因此需要對靶丸殼層厚度分布進行精密檢測,。常用的測量手法有X射線顯微輻照法,、激光差動共焦法和白光干涉法等。白光干涉法是以白光作為光源,，分成入射到參考鏡和待測樣品的兩束光,，在計算機管控下進行掃描和干涉信號分析，得到膜的厚度信息,。該方法適用于靶丸殼層厚度的測量,，但需要已知殼層材料的折射率，且難以實現(xiàn)靶丸殼層厚度分布的測量,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以實現(xiàn)對薄膜的大范圍測量和分析,。薄膜干涉膜厚儀供應商白光干涉頻域解調(diào)顧名思義是在頻域分析解調(diào)信號，測量裝置與時域解調(diào)裝置幾乎相同,，只需把光強測量裝置換為CCD或者是光譜儀,，接收...

本文溫所研究的鍺膜厚度約300nm，導致其白光干涉輸出光譜只有一個干涉峰,，此時常規(guī)基于相鄰干涉峰間距解調(diào)的方案（如峰峰值法等）將不再適用,。為此，我們提出了一種基于單峰值波長移動的白光干涉測量方案,，并設(shè)計搭建了膜厚測量系統(tǒng),。溫度測量實驗結(jié)果表明，峰值波長與溫度變化之間具有良好的線性關(guān)系,。利用該測量方案,，我們測得實驗用鍺膜的厚度為338.8nm，實驗誤差主要來自于溫度控制誤差和光源波長漂移。通過對納米級薄膜厚度的測量方案研究,，實現(xiàn)了對鍺膜和金膜的厚度測量,。本文主要的創(chuàng)新點是提出了白光干涉單峰值波長移動的解調(diào)方案，并將其應用于極短光程差的測量,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以應用于激光加工中的薄膜吸收率測量...

白光干涉法和激光光源相比具有短相干長度的特點,，使得兩束光只有在光程差非常小的情況下才能發(fā)生干涉，因此不會產(chǎn)生干擾條紋,。同時,，白光干涉產(chǎn)生的干涉條紋具有明顯的零光程差位置，避免了干涉級次不確定的問題,。本文基于白光干涉原理對單層透明薄膜厚度測量進行了研究,，特別是對厚度小于光源相干長度的薄膜進行了探究。文章首先詳細闡述了白光干涉原理和薄膜測厚原理,，然后在金相顯微鏡的基礎(chǔ)上構(gòu)建了一種型垂直白光掃描系統(tǒng),，作為實驗中測試薄膜厚度的儀器，并利用白光干涉原理對位移量進行了標定,。 白光干涉膜厚測量技術(shù)可以實現(xiàn)對薄膜表面形貌的測量,。白光干涉膜厚儀檢測用峰峰值法處理光譜數(shù)據(jù)時，被測光程差的分辨率取決于光譜儀或C...

由于不同性質(zhì)和形態(tài)的薄膜對測量量程和精度的需求不相同,，因此多種測量方法各有優(yōu)缺點,，難以籠統(tǒng)評估。測量特點總結(jié)如表1-1所示,，針對薄膜厚度不同,，適用的測量方法分別為橢圓偏振法、分光光度法,、共聚焦法和干涉法,。對于小于1μm的薄膜，白光干涉輪廓儀的測量精度較低,，分光光度法和橢圓偏振法較為適用,；而對于小于200nm的薄膜，橢圓偏振法結(jié)果更可靠,，因為透過率曲線缺少峰谷值,。光學薄膜厚度測量方案目前主要集中于測量透明或半透明薄膜。通過使用不同的解調(diào)技術(shù)處理白光干涉的圖樣,，可以得到待測薄膜厚度,。本章詳細研究了白光干涉測量技術(shù)的常用解調(diào)方案、解調(diào)原理及其局限性,，并得出了基于兩個相鄰干涉峰的白光干涉解調(diào)方案不適用...

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個重要方向，此項技術(shù)主要是利用光譜儀將對條紋的測量轉(zhuǎn)變成為對不同波長光譜的測量。通過分析被測物體的光譜特性,，就能夠得到相應的長度信息和形貌信息,。相比于白光掃描干涉術(shù)，它不需要大量的掃描過程,，因此提高了測量效率,，而且也減小了環(huán)境對它的影響。此項技術(shù)能夠測量距離,、位移,、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度。白干干涉光譜法是基于頻域干涉的理論,，采用白光作為寬波段光源,，經(jīng)過分光棱鏡，被分成兩束光,，這兩束光分別入射到參考面和被測物體,，反射回來后經(jīng)過分光棱鏡合成后，由色散元件分光至探測器,，記錄頻域上的干涉信號,。此光譜信號包含了被測表面的信息，如果此時被測物體是薄膜,，則薄...

白光干涉的分析方法利用白光干涉感知空間位置的變化,，從而得到被測物體的信息。它是在單色光相移干涉術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的,。單色光相移干涉術(shù)利用光路使參考光和被測表面的反射光發(fā)生干涉,，再使用相移的方法調(diào)制相位，利用干涉場中光強的變化計算出其每個數(shù)據(jù)點的初始相位,，但是這樣得到的相位是位于（-π,，+π]間，所以得到的是不連續(xù)的相位,。因此,，需要進行相位展開使其變?yōu)檫B續(xù)相位。再利用高度與相位的信息求出被測物體的表面形貌,。單色光相移法具有測量速度快,、測量分辨力高、對背景光強不敏感等優(yōu)點,。但是,，由于單色光干涉無法確定干涉條紋的零級位置。因此,，在相位解包裹中無法得到相位差的周期數(shù),，所以只能假定相位差不超過一個周期,，...

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個重要方向。此項技術(shù)通過使用光譜儀將對條紋的測量轉(zhuǎn)變?yōu)閷Σ煌ㄩL光譜的測量,，分析被測物體的光譜特性,，得到相應的長度信息和形貌信息。與白光掃描干涉術(shù)相比,，它不需要大量的掃描過程,，因此提高了測量效率，并減小了環(huán)境對其影響,。此項技術(shù)能夠測量距離,、位移、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度等,。白光干涉光譜分析基于頻域干涉的理論,，采用白光作為寬波段光源，經(jīng)過分光棱鏡折射為兩束光,。這兩束光分別經(jīng)由參考面和被測物體入射,，反射后再次匯聚合成，并由色散元件分光至探測器,，記錄頻域干涉信號,。這個光譜信號包含了被測表面信息，如果此時被測物體是薄膜,，則薄膜的厚度也包含在光譜信號當中,。...

可以使用光譜分析方法來確定靶丸折射率和厚度。極值法和包絡(luò)法,、全光譜擬合法是通過分析膜的反射或透射光譜曲線來計算膜厚度和折射率的方法,。極值法測量膜厚度是根據(jù)薄膜反射或透射光譜曲線上的波峰的位置來計算的。對于弱色散介質(zhì),，折射率為恒定值,，通過極大值點的位置可求得膜的光學厚度，若已知膜折射率即可求解膜的厚度,；對于強色散介質(zhì),，首先利用極值點求出膜厚度的初始值，然后利用色散模型計算折射率與入射波長的對應關(guān)系,，通過擬合得到色散模型的系數(shù),，即可解出任意入射波長下的折射率。常用的色散模型有cauchy模型,、Selimeier模型,、Lorenz模型等。標準樣品的選擇和使用對于保持儀器準確度至關(guān)重要,。膜厚儀制造公司...