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中美貿(mào)易摩擦：光刻膠國(guó)產(chǎn)代替是中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迫切需要；自從中美貿(mào)易摩擦依賴(lài),，中國(guó)大陸積極布局集成電路產(chǎn)業(yè),。在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，光刻膠作為是集成電路制程技術(shù)進(jìn)步的“燃料”,，是國(guó)產(chǎn)代替重要環(huán)節(jié),，也是必將國(guó)產(chǎn)化的產(chǎn)品,。光刻是半導(dǎo)制程的重要工藝,，對(duì)制造出更先進(jìn),，晶體管密度更大的集成電路起到?jīng)Q定性作用,。每一代新的光刻工藝都需要新一代的光刻膠技術(shù)相匹配。現(xiàn)在,，一塊半導(dǎo)體芯片在制造過(guò)程中一般需要進(jìn)行10-50道光刻過(guò)程,。其中不同的光刻過(guò)程對(duì)于光刻膠也有不一樣的具體需求,。光刻膠若性能不達(dá)標(biāo)會(huì)對(duì)芯片成品率造成重大影響。在選擇光刻膠時(shí)需要考慮化學(xué)性質(zhì),、照射時(shí)間,、敏感度和穩(wěn)定性等因素，以確保所選的光刻膠能夠滿足制造...

浸沒(méi)光刻：在與浸沒(méi)光刻相對(duì)的干法光刻中,，光刻透鏡與光刻膠之間是空氣,。光刻膠直接吸收光源發(fā)出的紫外輻射并發(fā)生光化學(xué)反應(yīng),。在浸沒(méi)光刻中,，光刻鏡頭與光刻膠之間是特定液體。這些液體可以是純水也可以是別的化合物液體,。光刻光源發(fā)出的輻射經(jīng)過(guò)這些液體的時(shí)候發(fā)生了折射,，波長(zhǎng)變短。這樣,，在不改變光源的前提條件下,，更短波長(zhǎng)的紫外光被投影光刻膠上,，提高了光刻加工的分辨率,。雙重光刻：雙重光刻的意思是通過(guò)兩次光刻使得加工分辨率翻倍,。實(shí)現(xiàn)這個(gè)目的的一種方法是在開(kāi)始光刻過(guò)后平移同一個(gè)光罩進(jìn)行第二次光刻,，以提高加工分辨率。下圖右展示了這樣一個(gè)過(guò)程,。下圖右中雙重光刻子進(jìn)行了兩次涂膠,，兩次光刻和兩次刻蝕。隨著光刻膠技術(shù)的進(jìn)步,，只...

按顯示效果分類(lèi),；光刻膠可分為正性光刻膠和負(fù)性光刻膠。負(fù)性光刻膠顯影時(shí)形成的圖形與光罩（掩膜版）相反,；正性光刻膠形成的圖形與掩膜版相同,。兩者的生產(chǎn)工藝流程基本一致，區(qū)別在于主要原材料不同,。 按照化學(xué)結(jié)構(gòu)分類(lèi),；光刻膠可以分為光聚合型，光分解型,，光交聯(lián)型和化學(xué)放大型。光聚合型光刻膠采用烯類(lèi)單體,，在光作用下生成自由基,，進(jìn)一步引發(fā)單體聚合，生成聚合物,；光分解型光刻膠,，采用含有重氮醌類(lèi)化合物(DQN)材料作為感光劑，其經(jīng)光照后,發(fā)生光分解反應(yīng),，可以制成正性光刻膠；光交聯(lián)型光刻膠采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料,，在光的作用下,，形成一種不溶性的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，而起到抗蝕作用,，可以制成負(fù)性光刻膠,。 光刻膠...

X射線對(duì)物質(zhì)的化學(xué)作用類(lèi)似電子束，X射線曝光時(shí),，X射線本身并不能直接引起光刻膠的反應(yīng),，它的能量是消耗的光電子放射過(guò)程而產(chǎn)生低能電子束上。正是這些低能電子使光刻膠的分子離化,，并激勵(lì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),，使光刻膠分子間的結(jié)合鍵解離,，或鍵合成高分子，在某些顯影液中變成易溶或不溶,。X射線光刻膠和電子束光刻膠沒(méi)有本質(zhì)的區(qū)別 ,，因此所有的電子束膠都可以與X射線光刻膠混用，一部分248 nm光學(xué)光刻膠亦可用作X射線光刻膠 ,，X射線光刻膠的分辨率十分高,，例如早期正性的光刻膠有用含氟的聚甲基丙烯酸酯 ，負(fù)膠有用甲基丙烯酸縮水甘油酯-丙烯酸乙酯共聚體和聚丙烯酸-2,3-二氯-1-丙酯,。光刻膠按應(yīng)用領(lǐng)域分類(lèi),，可分為 P...

光刻膠的技術(shù)壁壘包括配方技術(shù)，質(zhì)量控制技術(shù)和原材料技術(shù),。配方技術(shù)是光刻膠實(shí)現(xiàn)功能的要點(diǎn),，質(zhì)量控制技術(shù)能夠保證光刻膠性能的穩(wěn)定性而較好的原材料則是光刻膠性能的基礎(chǔ)。配方技術(shù)：由于光刻膠的下游用戶(hù)是IC芯片和FPD面板制造商,，不同的客戶(hù)會(huì)有不同的應(yīng)用需求,，同一個(gè)客戶(hù)也有不同的光刻應(yīng)用需求。一般一塊半導(dǎo)體芯片在制造過(guò)程中需要進(jìn)行10-50道光刻過(guò)程,，由于基板不同,、分辨率要求不同、蝕刻方式不同等,，不同的光刻過(guò)程對(duì)光刻膠的具體要求也不一樣,，即使類(lèi)似的光刻過(guò)程，不同的廠商也會(huì)有不同的要求,。針對(duì)以上不同的應(yīng)用需求,，光刻膠的品種非常多，這些差異主要通過(guò)調(diào)整光刻膠的配方來(lái)實(shí)現(xiàn),。因此,，通過(guò)調(diào)整光刻膠的配方，滿足差...

在半導(dǎo)體集成電路光刻技術(shù)開(kāi)始使用深紫外（DUV）光源以后,，化學(xué)放大（CAR）技術(shù)逐漸成為行業(yè)應(yīng)用的主流,。在化學(xué)放大光刻膠技術(shù)中，樹(shù)脂是具有化學(xué)基團(tuán)保護(hù)因而難以溶解的聚乙烯,?；瘜W(xué)放大光刻膠使用光致酸劑（PAG）作為光引發(fā)劑。當(dāng)光刻膠曝光后,，曝光區(qū)域的光致酸劑（PAG）將會(huì)產(chǎn)生一種酸,。這種酸在后熱烘培工序期間作為催化劑，將會(huì)移除樹(shù)脂的保護(hù)基團(tuán)從而使得樹(shù)脂變得易于溶解,?；瘜W(xué)放大光刻膠曝光速遞是DQN光刻膠的10倍,，對(duì)深紫外光源具有良好的光學(xué)敏感性，同時(shí)具有高對(duì)比度,，對(duì)高分辨率等優(yōu)點(diǎn),。按照曝光波長(zhǎng)分類(lèi)；光刻膠可分為紫外光刻膠（300~450nm）,、深紫外光刻膠（160~280nm）,、極紫外光刻膠（EU...

光刻膠是集成電路領(lǐng)域微加工的關(guān)鍵性材料，為推動(dòng)光刻膠等半導(dǎo)體材料行業(yè)的發(fā)展,，近年來(lái),，我國(guó)發(fā)布了多項(xiàng)利好政策支持光刻膠產(chǎn)業(yè)發(fā)展，同時(shí)國(guó)內(nèi)企業(yè)也積極研發(fā)產(chǎn)品,，主動(dòng)尋求光刻膠及其他材料國(guó)產(chǎn)化?，F(xiàn)階段，我國(guó)光刻膠企業(yè)有晶瑞電材,、彤程新材,、華懋科技、南大光電等,，在國(guó)產(chǎn)替代大契機(jī)下,，國(guó)內(nèi)光刻膠企業(yè)將迎來(lái)發(fā)展良機(jī)。國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈下游企業(yè)逐漸意識(shí)到材料國(guó)產(chǎn)化的重要性,，國(guó)內(nèi)廠商也在積極研發(fā)產(chǎn)品,、加速客戶(hù)和產(chǎn)品導(dǎo)入、擴(kuò)建相關(guān)產(chǎn)能,，在探索中砥礪前行,，從而抓住國(guó)產(chǎn)化的契機(jī)。目前已有少數(shù)企業(yè)已開(kāi)始嶄露頭角,，實(shí)現(xiàn)從0到1的突破,。光刻膠是一大類(lèi)具有光敏化學(xué)作用的高分子聚合物材料，是轉(zhuǎn)移紫外曝光或電子束曝照?qǐng)D案的媒介,。嘉定KrF...

靈敏度即光刻膠上產(chǎn)生一個(gè)良好的圖形所需一定波長(zhǎng)光的較小能量值（或較小曝光量）,。單位：毫焦/平方厘米或mJ/cm2。光刻膠的敏感性對(duì)于波長(zhǎng)更短的深紫外光（DUV）,、極深紫外光（EUV）等尤為重要 ,。負(fù)膠通常需5~15 s時(shí)間曝光,，正膠較慢,，其曝光時(shí)間為負(fù)膠的3~4倍 。靈敏度反映了光刻膠材料對(duì)某種波長(zhǎng)的光的反應(yīng)程度,。不同的光刻膠對(duì)于不同的波長(zhǎng)的光是有選擇性的,。比如248 nm波長(zhǎng)光刻膠的成膜樹(shù)脂中存在苯環(huán)結(jié)構(gòu),，對(duì)193 nm波長(zhǎng)的光具有很強(qiáng)的吸收作用，即對(duì)193 nm波長(zhǎng)的光是不透明的,，因此193 nm光刻膠必須改變樹(shù)脂主體,。同時(shí)，高的產(chǎn)出要求短的曝光時(shí)間,，對(duì)光刻膠的靈敏度要求也越來(lái)越高,。通...

按顯示效果分類(lèi)；光刻膠可分為正性光刻膠和負(fù)性光刻膠,。負(fù)性光刻膠顯影時(shí)形成的圖形與光罩（掩膜版）相反,；正性光刻膠形成的圖形與掩膜版相同。兩者的生產(chǎn)工藝流程基本一致,，區(qū)別在于主要原材料不同,。 按照化學(xué)結(jié)構(gòu)分類(lèi)；光刻膠可以分為光聚合型,，光分解型,，光交聯(lián)型和化學(xué)放大型。光聚合型光刻膠采用烯類(lèi)單體,，在光作用下生成自由基,，進(jìn)一步引發(fā)單體聚合，生成聚合物,；光分解型光刻膠,，采用含有重氮醌類(lèi)化合物(DQN)材料作為感光劑，其經(jīng)光照后,發(fā)生光分解反應(yīng),，可以制成正性光刻膠,；光交聯(lián)型光刻膠采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料，在光的作用下,，形成一種不溶性的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),，而起到抗蝕作用，可以制成負(fù)性光刻膠,。 聚合度...

抗蝕性即光刻膠材料在刻蝕過(guò)程中的抵抗力,。在圖形從光刻膠轉(zhuǎn)移到晶片的過(guò)程中，光刻膠材料必須能夠抵抗高能和高溫（>150℃）而不改變其原有特性 ,。在后續(xù)的刻蝕工序中保護(hù)襯底表面,。耐熱穩(wěn)定性、抗刻蝕能力和抗離子轟擊能力 ,。在濕法刻蝕中,，印有電路圖形的光刻膠需要連同硅片一同置入化學(xué)刻蝕液中，進(jìn)行很多次的濕法腐蝕,。只有光刻膠具有很強(qiáng)的抗蝕性,，才能保證刻蝕液按照所希望的選擇比刻蝕出曝光所得圖形，更好體現(xiàn)器件性能,。在干法刻蝕中,，例如集成電路工藝中在進(jìn)行阱區(qū)和源漏區(qū)離子注入時(shí)，需要有較好的保護(hù)電路圖形的能力,，否則光刻膠會(huì)因?yàn)樵谧⑷氕h(huán)境中揮發(fā)而影響到注入腔的真空度,。此時(shí)注入的離子將不會(huì)起到其在電路制造工藝中...

中美貿(mào)易摩擦：光刻膠國(guó)產(chǎn)代替是中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迫切需要；自從中美貿(mào)易摩擦依賴(lài),，中國(guó)大陸積極布局集成電路產(chǎn)業(yè),。在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，光刻膠作為是集成電路制程技術(shù)進(jìn)步的“燃料”,，是國(guó)產(chǎn)代替重要環(huán)節(jié),，也是必將國(guó)產(chǎn)化的產(chǎn)品。光刻是半導(dǎo)制程的重要工藝,，對(duì)制造出更先進(jìn),，晶體管密度更大的集成電路起到?jīng)Q定性作用。每一代新的光刻工藝都需要新一代的光刻膠技術(shù)相匹配?，F(xiàn)在,，一塊半導(dǎo)體芯片在制造過(guò)程中一般需要進(jìn)行10-50道光刻過(guò)程。其中不同的光刻過(guò)程對(duì)于光刻膠也有不一樣的具體需求,。光刻膠若性能不達(dá)標(biāo)會(huì)對(duì)芯片成品率造成重大影響,。金屬氧化物光刻膠使用金屬離子及有機(jī)配體構(gòu)建其主體結(jié)構(gòu)，借助光敏基團(tuán)實(shí)現(xiàn)光刻膠所需的性能,。華東半...

目前國(guó)內(nèi)從事半導(dǎo)體光刻膠研發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)包括晶瑞股份,、南大光電、上海新陽(yáng),、北京科華等,。相關(guān)企業(yè)以i 線、g線光刻膠生產(chǎn)為主,，應(yīng)用集成電路制程為350nm以上,。在KrF光刻膠領(lǐng)域，北京科華、博康已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),。國(guó)內(nèi)在ArF光刻膠領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程相對(duì)較快的企業(yè)為南大光電，其先后承擔(dān)國(guó)家02專(zhuān)項(xiàng)“高分辨率光刻膠與先進(jìn)封裝光刻膠產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目”和“ArF光刻膠產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”,，公司自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品成為國(guó)內(nèi)通過(guò)客戶(hù)驗(yàn)證的國(guó)產(chǎn)ArF光刻膠,，其他國(guó)內(nèi)企業(yè)尚處于研發(fā)和驗(yàn)證階段。在半導(dǎo)體集成電路制造行業(yè)：主要使用g線光刻膠,、i線光刻膠,、KrF光刻膠、ArF光刻膠等,。浦東i線光刻膠其他助劑受制于...

分辨率即光刻工藝中所能形成較小尺寸的有用圖像,。是區(qū)別硅片表面相鄰圖形特征的能力。一般用關(guān)鍵尺寸（CD,，Critical Dimension）來(lái)衡量分辨率,。形成的關(guān)鍵尺寸越小，光刻膠的分辨率越好 ,。此性質(zhì)深受光刻膠材質(zhì)本身物理化學(xué)性質(zhì)的影響,，必須避免光刻膠材料在顯影過(guò)程中收縮或在硬烤中流動(dòng)。因此,，若要使光刻材料擁有良好的分辨能力,，需謹(jǐn)慎選擇高分子基材及所用的顯影劑。分辨率和焦深都是光刻中圖像質(zhì)量的關(guān)鍵因素,。在光刻中既要獲得更好的分辨率來(lái)形成關(guān)鍵尺寸圖形,，又要保持合適的焦深是非常矛盾的。雖然分辨率非常依賴(lài)于曝光設(shè)備,，但是高性能的曝光工具需要與之相配套的高性能的光刻膠才能真正獲得高分辨率的加工能力,。...

導(dǎo)體光刻膠的涂敷方法主要是旋轉(zhuǎn)涂膠法，具體可以分為靜態(tài)旋轉(zhuǎn)法和動(dòng)態(tài)噴灑法,。靜態(tài)旋轉(zhuǎn)法：首先把光刻膠通過(guò)滴膠頭堆積在硅片的中心,，然后低速旋轉(zhuǎn)使得光刻膠鋪開(kāi)，再以高速旋轉(zhuǎn)甩掉多余的光刻膠,。在高速旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中,，光刻膠中的溶劑會(huì)揮發(fā)一部分。靜態(tài)涂膠法中的光刻膠堆積量非常關(guān)鍵,，量少了會(huì)導(dǎo)致光刻膠不能充分覆蓋硅片，量大了會(huì)導(dǎo)致光刻膠在硅片邊緣堆積甚至流到硅片的背面,，影響工藝質(zhì)量,。動(dòng)態(tài)噴灑法：隨著硅片尺寸越來(lái)越大，靜態(tài)涂膠已經(jīng)不能滿足新型的硅片加工需求。相對(duì)靜態(tài)旋轉(zhuǎn)法而言,，動(dòng)態(tài)噴灑法在光刻膠對(duì)硅片進(jìn)行澆注的時(shí)刻就開(kāi)始以低速旋轉(zhuǎn)幫助光刻膠進(jìn)行**初的擴(kuò)散,。這種方法可以用較少量的光刻膠形成更均勻的光刻膠鋪展，以...

從90年代后半期開(kāi)始,，光刻光源就開(kāi)始采用248nm的KrF激光,；而從2000年代開(kāi)始，光刻就進(jìn)一步轉(zhuǎn)向使用193nm波長(zhǎng)的ArF準(zhǔn)分子激光作為光源,。在那之后一直到目前的約20年里,，193nm波長(zhǎng)的ArF準(zhǔn)分子激光一直是半導(dǎo)體制程領(lǐng)域性能可靠，使用較多的光刻光源,。一般而言,，KrF（248nm）光刻膠使用聚對(duì)羥基苯乙烯及其衍生物作為成膜樹(shù)脂，使用磺酸碘鎓鹽和硫鎓鹽作為光致酸劑,；而ArF（193nm）光刻膠則多使用聚甲基丙烯酸酯衍生物,，環(huán)烯烴-馬來(lái)酸酐共聚物，環(huán)形聚合物等作為成膜樹(shù)脂,；由于化學(xué)結(jié)構(gòu)上的原因,，Arf(193nm)光刻膠需要比KrF（248nm）光刻膠更加敏感的光致酸劑。光刻膠的組成部分...

光刻工藝歷經(jīng)硅片表面脫水烘烤,、旋轉(zhuǎn)涂膠,、軟烘、曝光,、曝光后烘烤,、顯影、堅(jiān)膜烘烤,、顯影檢查等工序,。在光刻過(guò)程中,，光刻膠被均勻涂布在襯底上，經(jīng)過(guò)曝光,、顯影與刻蝕等工藝,，將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到襯底上，形成與掩膜版完全對(duì)應(yīng)的幾何圖形,。光刻工藝約占整個(gè)芯片制造成本的35%,，耗時(shí)占整個(gè)芯片工藝的40-50%，是半導(dǎo)體制造中重要的工藝,。隨著半導(dǎo)體制程不斷縮小,，光刻工藝對(duì)光刻膠要求逐步提高,，需求量也隨之增加。從全球市場(chǎng)來(lái)看,，專(zhuān)注電子材料市場(chǎng)研究的TECHCET預(yù)測(cè)數(shù)據(jù)顯示,，2021年全球半導(dǎo)體制造光刻膠市場(chǎng)規(guī)模將同比增長(zhǎng)11%，達(dá)到19億美元,。在半導(dǎo)體集成電路制造行業(yè)：主要使用g線光刻膠、i線光刻膠,、KrF光...

靈敏度即光刻膠上產(chǎn)生一個(gè)良好的圖形所需一定波長(zhǎng)光的較小能量值（或較小曝光量）,。單位：毫焦/平方厘米或mJ/cm2。光刻膠的敏感性對(duì)于波長(zhǎng)更短的深紫外光（DUV）,、極深紫外光（EUV）等尤為重要 ,。負(fù)膠通常需5~15 s時(shí)間曝光，正膠較慢,，其曝光時(shí)間為負(fù)膠的3~4倍 ,。靈敏度反映了光刻膠材料對(duì)某種波長(zhǎng)的光的反應(yīng)程度。不同的光刻膠對(duì)于不同的波長(zhǎng)的光是有選擇性的,。比如248 nm波長(zhǎng)光刻膠的成膜樹(shù)脂中存在苯環(huán)結(jié)構(gòu),，對(duì)193 nm波長(zhǎng)的光具有很強(qiáng)的吸收作用，即對(duì)193 nm波長(zhǎng)的光是不透明的,，因此193 nm光刻膠必須改變樹(shù)脂主體,。同時(shí)，高的產(chǎn)出要求短的曝光時(shí)間,，對(duì)光刻膠的靈敏度要求也越來(lái)越高,。通...

中美貿(mào)易摩擦：光刻膠國(guó)產(chǎn)代替是中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迫切需要；自從中美貿(mào)易摩擦依賴(lài),，中國(guó)大陸積極布局集成電路產(chǎn)業(yè),。在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域，光刻膠作為是集成電路制程技術(shù)進(jìn)步的“燃料”,，是國(guó)產(chǎn)代替重要環(huán)節(jié),，也是必將國(guó)產(chǎn)化的產(chǎn)品。光刻是半導(dǎo)制程的重要工藝,，對(duì)制造出更先進(jìn),，晶體管密度更大的集成電路起到?jīng)Q定性作用,。每一代新的光刻工藝都需要新一代的光刻膠技術(shù)相匹配。現(xiàn)在,，一塊半導(dǎo)體芯片在制造過(guò)程中一般需要進(jìn)行10-50道光刻過(guò)程,。其中不同的光刻過(guò)程對(duì)于光刻膠也有不一樣的具體需求。光刻膠若性能不達(dá)標(biāo)會(huì)對(duì)芯片成品率造成重大影響,。按曝光波長(zhǎng)可分為紫外光刻膠,、深紫外光刻膠、極紫外光刻膠,、電子束光刻膠,、離子束光刻膠、X射線光刻...

黏附性是表征光刻膠黏著于襯底的強(qiáng)度,。主要衡量光刻膠抗?jié)穹ǜg能力,。它不僅與光刻膠本身的性質(zhì)有關(guān)，而且與襯底的性質(zhì)和其表面情況等有密切關(guān)系 ,。作為刻蝕阻擋層,，光刻膠層必須和晶圓表面黏結(jié)得很好，才能夠忠實(shí)地把光刻層圖形轉(zhuǎn)移到晶圓表面層,，光刻膠的黏附性不足會(huì)導(dǎo)致硅片表面的圖形變形,。光刻膠的黏附性必須經(jīng)受住后續(xù)工藝（刻蝕、離子注入等）,。通常負(fù)膠比正膠有更強(qiáng)的黏結(jié)能力,。 表面張力指液體中將表面分子拉向液體主體內(nèi)的分子間吸引力。光刻膠應(yīng)該具有比較小的表面張力,，使光刻膠具有良好的流動(dòng)性和覆蓋,。 在集成電路制造領(lǐng)域，如果說(shuō)光刻機(jī)是推動(dòng)制程技術(shù)進(jìn)步的“引擎”,，光刻膠就是這部“引擎”的“燃料”,。蘇州黑色...

光刻膠屬于半導(dǎo)體八大重要材料之一，根據(jù)全球半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)（SEMI）近期數(shù)據(jù),，光刻膠在半導(dǎo)體晶圓制造材料價(jià)值占比5%,，光刻膠輔助材料占比7%，二者合計(jì)占比12%,，光刻膠及輔助材料是繼硅片,、電子特氣和光掩模之后的第四大半導(dǎo)體材料。光刻膠又稱(chēng)光致抗蝕劑,，是指通過(guò)紫外光,、電子束、離子束,、X射線等照射或輻射,，其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料,，目前被用于光電信息產(chǎn)業(yè)的微細(xì)圖形線路加工制作環(huán)節(jié)。光刻膠由增感劑（光引發(fā)劑）,、感光樹(shù)脂（聚合劑）,、溶劑與助劑構(gòu)成。中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠的快速崛起離不開(kāi)中國(guó)整體半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,。華東光聚合型光刻膠光引發(fā)劑g-line與i-line光刻膠均使用線性酚醛成分作為樹(shù)脂主體,，...

質(zhì)量控制技術(shù)：由于用戶(hù)對(duì)光刻膠的穩(wěn)定性、一致性要求高,，包括不同批次間的一致性,，通常希望對(duì)感光靈敏度、膜厚的一致性保持在較高水平,，因此,，光刻膠生產(chǎn)商不僅要配備齊全的測(cè)試儀器，還需要建立一套嚴(yán)格的QA體系以保證產(chǎn)品的質(zhì)量穩(wěn)定,。原材料技術(shù)：光刻膠是一種經(jīng)過(guò)嚴(yán)格設(shè)計(jì)的復(fù)雜,、精密的配方產(chǎn)品,，由成膜劑,、光敏劑、溶劑和添加劑等不同性質(zhì)的原料,，通過(guò)不同的排列組合,，經(jīng)過(guò)復(fù)雜、精密的加工工藝而制成,。因此,，光刻膠原材料的品質(zhì)對(duì)光刻膠的質(zhì)量起著關(guān)鍵作用。對(duì)于半導(dǎo)體化學(xué)化學(xué)試劑的純度,，際半導(dǎo)體設(shè)備和材料組織（SEMI）制定了國(guó)際統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn),。亞甲基雙苯醚型光刻膠：這種類(lèi)型的光刻膠適用于制造精度較低的電路元件。嘉定g線光刻膠...

光刻膠（Photoresist）又稱(chēng)光致抗蝕劑,，是指通過(guò)紫外光,、電子束、離子束,、X射線等的照射或輻射,，其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹(shù)脂,、增感劑和溶劑3種主要成分組成的對(duì)光敏感的混合液體,。在光刻工藝過(guò)程中，用作抗腐蝕涂層材料,。半導(dǎo)體材料在表面加工時(shí),，若采用適當(dāng)?shù)挠羞x擇性的光刻膠,，可在表面上得到所需的圖像。光刻膠按其形成的圖像分類(lèi)有正性,、負(fù)性?xún)纱箢?lèi),。在光刻膠工藝過(guò)程中，涂層曝光,、顯影后,，曝光部分被溶解，未曝光部分留下來(lái),，該涂層材料為正性光刻膠,。如果曝光部分被保留下來(lái)，而未曝光被溶解,，該涂層材料為負(fù)性光刻膠,。按曝光光源和輻射源的不同，又分為紫外光刻膠（包括紫外正,、負(fù)性光刻膠）,、深紫外光...

光刻膠的技術(shù)壁壘包括配方技術(shù)，質(zhì)量控制技術(shù)和原材料技術(shù),。配方技術(shù)是光刻膠實(shí)現(xiàn)功能的要點(diǎn),，質(zhì)量控制技術(shù)能夠保證光刻膠性能的穩(wěn)定性而較好的原材料則是光刻膠性能的基礎(chǔ)。配方技術(shù)：由于光刻膠的下游用戶(hù)是IC芯片和FPD面板制造商,，不同的客戶(hù)會(huì)有不同的應(yīng)用需求,，同一個(gè)客戶(hù)也有不同的光刻應(yīng)用需求。一般一塊半導(dǎo)體芯片在制造過(guò)程中需要進(jìn)行10-50道光刻過(guò)程,，由于基板不同,、分辨率要求不同、蝕刻方式不同等,，不同的光刻過(guò)程對(duì)光刻膠的具體要求也不一樣,，即使類(lèi)似的光刻過(guò)程，不同的廠商也會(huì)有不同的要求,。針對(duì)以上不同的應(yīng)用需求,，光刻膠的品種非常多，這些差異主要通過(guò)調(diào)整光刻膠的配方來(lái)實(shí)現(xiàn),。因此,，通過(guò)調(diào)整光刻膠的配方，滿足差...

通常光刻膠等微電子化學(xué)品不僅品質(zhì)要求高,，而且需要多種不同的品類(lèi)滿足下游客戶(hù)多樣化的需,。如果沒(méi)有規(guī)模效益，供應(yīng)商就無(wú)法承擔(dān)滿足多樣化需求帶來(lái)的開(kāi)銷(xiāo),。因此,，品種規(guī)模構(gòu)成了進(jìn)入該行業(yè)的重要壁壘,。同時(shí)，一般微電子化學(xué)品具有一定的腐蝕性,，對(duì)生產(chǎn)設(shè)備有較高的要求,，且生產(chǎn)環(huán)境需要進(jìn)行無(wú)塵或微塵處理。制備微電子化學(xué)品還需要全封閉,、自動(dòng)化的工藝流程,，以避免污染，提高質(zhì)量,。因此,，光刻膠等微電子化學(xué)品生產(chǎn)在安全生產(chǎn)、環(huán)保設(shè)備,、生產(chǎn)工藝系統(tǒng),、過(guò)程控制體系以及研發(fā)投資等方面要求較高。如果沒(méi)有強(qiáng)大的資金實(shí)力,，企業(yè)就難以在設(shè)備,、研發(fā)和技術(shù)服務(wù)上取得競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，以提升可持續(xù)發(fā)展能力,。因此,，光刻膠這樣的微電子化學(xué)品行業(yè)具備較高的...

中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)規(guī)模增速超過(guò)全球。隨著半導(dǎo)體制程節(jié)點(diǎn)不斷縮小,，光刻工藝對(duì)光刻膠要求越來(lái)越高,，需求量也越來(lái)越大,。據(jù)智研咨詢(xún)數(shù)據(jù),，2018年全球半導(dǎo)體用光刻膠市場(chǎng)規(guī)模約13億美元，年復(fù)合增速為5.4%,，預(yù)計(jì)未來(lái)5年年均增速約8%-10%,；中國(guó)半導(dǎo)體用光刻膠市場(chǎng)規(guī)模約23億元人民幣，年復(fù)合增速為9.8%,，預(yù)計(jì)未來(lái)5年年均增速約10%,。以前，光刻膠主要依賴(lài)進(jìn)口,，隨著科技的逐漸發(fā)展,，國(guó)產(chǎn)化光刻膠趨勢(shì)越來(lái)越明顯，相信國(guó)內(nèi)光刻膠技術(shù)會(huì)越來(lái)越成熟,，光刻膠國(guó)產(chǎn)化是必然趨勢(shì),。中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠的快速崛起離不開(kāi)中國(guó)整體半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。江蘇干膜光刻膠曝光 光刻膠又稱(chēng)光致抗蝕劑,，是一種對(duì)光敏感的混合液體,。其組成...

光刻膠的產(chǎn)業(yè)鏈中游：為光刻膠制造環(huán)節(jié),，當(dāng)前全球光刻膠生產(chǎn)制造商主要被日本JSR、信越化學(xué),、住友化學(xué),、東京應(yīng)化、美國(guó)陶氏化學(xué)等制造商所壟斷,，中國(guó)本土企業(yè)在光刻膠市場(chǎng)的份額較低,，與國(guó)外光刻膠制造商相比仍存明顯差距。 光刻膠的產(chǎn)業(yè)鏈下游：主要涉及半導(dǎo)體,、平板顯示器,、PCB等領(lǐng)域。伴隨消費(fèi)升級(jí),、應(yīng)用終端產(chǎn)品更新迭代速度加快,，下游應(yīng)用領(lǐng)域企業(yè)對(duì)半導(dǎo)體、平板顯示和PCB制造提出愈加精細(xì)化的要求,，將帶動(dòng)光刻膠行業(yè)持續(xù)發(fā)展,。 有機(jī)-無(wú)機(jī)雜化光刻膠被認(rèn)為是實(shí)現(xiàn)10nm以下工業(yè)化模式的理想材料。蘇州PCB光刻膠單體 在平板顯示行業(yè)：主要使用的光刻膠有彩色及黑色光刻膠,、LCD觸摸屏用光刻膠,、TFT-LC...

EUV(極紫外光)光刻技術(shù)是20年來(lái)光刻領(lǐng)域的進(jìn)展。由于目前可供利用的光學(xué)材料無(wú)法很好支持波長(zhǎng)13nm以下的輻射的反射和透射,，因此 EUV 光刻技術(shù)使用波長(zhǎng)為13.5nm的紫外光作為光刻光源,。EUV（極紫外光）光刻技術(shù)將半導(dǎo)體制程技術(shù)在10nm以下的區(qū)域繼續(xù)推進(jìn)。在 EUV 光刻工藝的 13.5nm 波長(zhǎng)尺度上,，量子的不確定性效應(yīng)開(kāi)始顯現(xiàn),，為相應(yīng)光源，光罩和光刻膠的設(shè)計(jì)和使用帶來(lái)了前所未有的挑戰(zhàn),。目前 EUV 光刻機(jī)只有荷蘭 ASML 有能力制造,，許多相應(yīng)的技術(shù)細(xì)節(jié)尚不為外界所知。在即將到來(lái)的 EUV 光刻時(shí)代,，業(yè)界預(yù)期已經(jīng)流行長(zhǎng)達(dá) 20 年之久的 KrF,、ArF 光刻膠技術(shù)或?qū)⒂瓉?lái)技術(shù)變革。...

光刻膠的技術(shù)壁壘包括配方技術(shù),，質(zhì)量控制技術(shù)和原材料技術(shù),。配方技術(shù)是光刻膠實(shí)現(xiàn)功能的要點(diǎn)，質(zhì)量控制技術(shù)能夠保證光刻膠性能的穩(wěn)定性而較好的原材料則是光刻膠性能的基礎(chǔ),。配方技術(shù)：由于光刻膠的下游用戶(hù)是IC芯片和FPD面板制造商,，不同的客戶(hù)會(huì)有不同的應(yīng)用需求，同一個(gè)客戶(hù)也有不同的光刻應(yīng)用需求。一般一塊半導(dǎo)體芯片在制造過(guò)程中需要進(jìn)行10-50道光刻過(guò)程,，由于基板不同,、分辨率要求不同、蝕刻方式不同等,，不同的光刻過(guò)程對(duì)光刻膠的具體要求也不一樣,，即使類(lèi)似的光刻過(guò)程，不同的廠商也會(huì)有不同的要求,。針對(duì)以上不同的應(yīng)用需求,，光刻膠的品種非常多，這些差異主要通過(guò)調(diào)整光刻膠的配方來(lái)實(shí)現(xiàn),。因此,，通過(guò)調(diào)整光刻膠的配方，滿足差...

在半導(dǎo)體集成電路制造行業(yè),；主要使用g線光刻膠,、i線光刻膠、KrF光刻膠,、ArF光刻膠等,。在大規(guī)模集成電路的制造過(guò)程中，一般要對(duì)硅片進(jìn)行超過(guò)十次光刻,。在每次的光刻和刻蝕工藝中,，光刻膠都要通過(guò)預(yù)烘、涂膠,、前烘,、對(duì)準(zhǔn)、曝光,、后烘,、顯影和蝕刻等環(huán)節(jié)，將光罩（掩膜版）上的圖形轉(zhuǎn)移到硅片上,。 光刻膠是集成電路制造的重要材料：光刻膠的質(zhì)量和性能是影響集成電路性能,、成品率及可靠性的關(guān)鍵因素,。光刻工藝的成本約為整個(gè)芯片制造工藝的35%,，并且耗費(fèi)時(shí)間約占整個(gè)芯片工藝的40%-50%。光刻膠材料約占IC制造材料總成本的4%,，市場(chǎng)巨大,。因此光刻膠是半導(dǎo)體集成電路制造的重要材料。 光刻膠又稱(chēng)光致抗蝕劑,，是一種...

X射線對(duì)物質(zhì)的化學(xué)作用類(lèi)似電子束,，X射線曝光時(shí)，X射線本身并不能直接引起光刻膠的反應(yīng)，它的能量是消耗的光電子放射過(guò)程而產(chǎn)生低能電子束上,。正是這些低能電子使光刻膠的分子離化,，并激勵(lì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，使光刻膠分子間的結(jié)合鍵解離,，或鍵合成高分子,，在某些顯影液中變成易溶或不溶。X射線光刻膠和電子束光刻膠沒(méi)有本質(zhì)的區(qū)別 ,，因此所有的電子束膠都可以與X射線光刻膠混用,，一部分248 nm光學(xué)光刻膠亦可用作X射線光刻膠 ，X射線光刻膠的分辨率十分高,，例如早期正性的光刻膠有用含氟的聚甲基丙烯酸酯 ,，負(fù)膠有用甲基丙烯酸縮水甘油酯-丙烯酸乙酯共聚體和聚丙烯酸-2,3-二氯-1-丙酯。光刻膠所屬的微電子化學(xué)品是電子行...